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石岩
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58
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国防科学技术大学
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
航空宇航科学技术
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合作作者
吴学忠
国防科学技术大学
肖定邦
国防科学技术大学
卢坤
国防科学技术大学
席翔
国防科学技术大学
张勇猛
国防科学技术大学
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作者
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石岩
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一种高精度熔融石英微壳体谐振结构加工设备
一种高精度熔融石英微壳体谐振结构加工设备,包包括XYZ三向给进机构、W向伺服旋转机构、成型模具以及高温火焰控制系统,所述高温火焰控制系统包括高温火焰喷枪,待加工石英片固定在成型模具上,成型模具与W向伺服旋转机构固定连接且...
肖定邦
吴学忠
侯占强
陈志华
吴宇列
李微
石岩
卢坤
压电式环形微机械陀螺仪及制备方法
本发明涉及一种压电式环形微机械陀螺仪及制备方法。所述陀螺仪包括:衬底,衬底上设置有结构层,结构层上间隔分布若干导电回路;导电回路为两个以上,沿结构层环向间隔布置;导电回路包括从下往上依次设置的底电极层、压电层及顶电极层;...
李青松
肖定邦
冯荣辉
吴学忠
吴锴
石岩
席翔
张勇猛
孙江坤
一种速率积分型振动陀螺的误差补偿方法和装置
本申请涉及一种速率积分型振动陀螺的误差补偿方法和装置,所述误差补偿方法针对速率积分型陀螺中刚度误差、电极角度误差、电极间隙误差以及阻尼误差这四项严重制约陀螺性能的误差进行辨识和补偿,实现速率积分型振动陀螺性能的提升。与传...
肖定邦
吴学忠
张勇猛
席翔
李青松
卢坤
孙江坤
余升
王鹏
路阔
苗桐侨
石岩
一种高对称性微半球谐振结构成型方法
本发明涉及一种高对称性微半球谐振结构成型方法,包括:在成型模具的成型空腔的开口端设置样品材料片,并基于真空单元对成型空腔抽真空以对样品材料片真空吸附;在样品材料片的上方布置热源,并调整热源与样品材料片的相对位置;启动转动...
石岩
吴学忠
肖定邦
蹇敦想
席翔
卢坤
微型壳体振动陀螺谐振结构加工工艺优化
微型壳体振动陀螺是近些年来发展起来的一种新型哥氏振动陀螺,因具有体积小、功耗低、品质因数高等优点,得到了国内外学者的广泛关注。谐振结构是陀螺的敏感元件,其加工工艺是微型壳体振动陀螺制造过程的关键环节,直接决定了陀螺的性能...
石岩
关键词:
谐振结构
品质因数
参数优化
熔融石英微半球谐振陀螺敏感结构曲面壳体的制造装置
本申请属于微机电系统制造技术领域,涉及熔融石英微半球谐振陀螺敏感结构曲面壳体的制造装置,包括:安装平台、三轴运动平台、喷灯、车刀、旋转平台、气滑环、真空腔以及石墨模具;三轴运动平台设在安装平台上,且喷灯与车刀同时设在三轴...
吴学忠
肖定邦
席翔
卢坤
张勇猛
李青松
石岩
孙江坤
一种平面化圆片级熔融石英MEMS陀螺仪的制作方法
本发明公开一种平面化圆片级熔融石英MEMS陀螺仪的制作方法,目的是提高MEMS陀螺仪的精度。技术方案是确定加工环境;搭建飞秒激光改性的装置;制作甲片和乙片石英片,对乙片采用飞秒激光改性的装置进行飞秒激光改性、清洗、退火;...
肖定邦
吴学忠
赵陶
卓明
席翔
李青松
卢坤
石岩
李斌
陈绎默
文献传递
一种无镀膜微壳体谐振结构频率匹配修调方法和系统
本申请属于微机电系统制造技术领域,涉及一种无镀膜微壳体谐振结构频率匹配修调方法和系统。方法包括:遍历所有激励电极,计算谐振峰幅值之比;以最大值所在电极为第一修调电极,以第一修调电极以及与其相差90°、180°、270°方...
卢坤
席翔
肖定邦
石岩
孙江坤
张勇猛
吴学忠
一种微壳体振动陀螺、陀螺振子及陀螺振子制备方法
本发明属于微壳体陀螺领域,具体是涉及到一种微壳体陀螺振子,包括壳体和金属膜,壳体包括相互连接的圆筒形壳壁和圆盘形壳底,壳底中心朝向壳壁一侧凸伸设置有凸台,壳底至凸台中心设置有凹槽,金属膜至少覆盖壳底的底面和凹槽的表面,本...
席翔
卢坤
石岩
张勇猛
孙江坤
李青松
牛顿
肖定邦
吴学忠
一种微半球陀螺谐振子不平衡质量确定装置及方法
本发明公开了一种微半球陀螺谐振子不平衡质量确定装置及方法,包括真空腔、测振夹具、激光测振仪和锁相放大器;所述真空腔的上端设有与Z轴垂直的玻璃窗口,所述真空腔上还设有电路接口,所述真空腔还连接有真空泵;所述测振夹具包括底座...
吴学忠
肖定邦
席翔
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