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唐世豪
作品数:
6
被引量:0
H指数:0
供职机构:
华中科技大学
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相关领域:
文化科学
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合作作者
涂良成
华中科技大学
范继
华中科技大学
刘金全
华中科技大学
伍文杰
华中科技大学
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机构
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文献类型
6篇
中文专利
领域
2篇
文化科学
主题
6篇
振子
6篇
MEMS
4篇
重力仪
4篇
外框
4篇
刚度
2篇
电容
2篇
正交
2篇
体积
2篇
重力梯度
2篇
重力梯度仪
2篇
检测电路
2篇
差分
机构
6篇
华中科技大学
作者
6篇
涂良成
6篇
唐世豪
4篇
刘金全
4篇
范继
2篇
伍文杰
年份
2篇
2019
3篇
2017
1篇
2016
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6
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一种MEMS重力仪
本发明公开了一种MEMS重力仪;包括:振子单元,位移传感结构,位移检测电路,腔体和水平调节基座;振子单元设置在腔体的内部,振子单元包括:负刚度弹簧、正刚度弹簧、检验质量和外框;检验质量通过正刚度弹簧和负刚度弹簧与外框相连...
涂良成
唐世豪
刘金全
范继
一种基于位移差分的MEMS重力梯度仪
本发明公开了一种基于位移差分的MEMS重力梯度仪。包括第一振子单元和第二振子单元;前者包括第一外围框架和与第一外围框架通过第一组梁连接的第一检验质量,后者包括第二外围框架和与第二外围框架通过第二组梁连接的第二检验质量,第...
涂良成
唐世豪
范继
刘金全
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一种基于位移差分的MEMS重力梯度仪
本发明公开了一种基于位移差分的MEMS重力梯度仪。包括第一振子单元和第二振子单元;前者包括第一外围框架和与第一外围框架通过第一组梁连接的第一检验质量,后者包括第二外围框架和与第二外围框架通过第二组梁连接的第二检验质量,第...
涂良成
唐世豪
范继
刘金全
一种三轴MEMS重力仪
本发明提供了一种三轴MEMS重力仪,包括:敏感探头、位移传感结构,位移检测电路,腔体和水平调节基座;敏感探头包括:两个第一振子单元、一个第二振子单元和支撑结构,第一振子单元的敏感轴与第二振子单元的敏感轴相互正交;第一振子...
唐世豪
涂良成
徐小超
伍文杰
刘骅锋
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一种三轴MEMS重力仪
本发明提供了一种三轴MEMS重力仪,包括:敏感探头、位移传感结构,位移检测电路,腔体和水平调节基座;敏感探头包括:两个第一振子单元、一个第二振子单元和支撑结构,第一振子单元的敏感轴与第二振子单元的敏感轴相互正交;第一振子...
唐世豪
涂良成
徐小超
伍文杰
刘骅锋
文献传递
一种MEMS重力仪
本发明公开了一种MEMS重力仪;包括:振子单元,位移传感结构,位移检测电路,腔体和水平调节基座;振子单元设置在腔体的内部,振子单元包括:负刚度弹簧、正刚度弹簧、检验质量和外框;检验质量通过正刚度弹簧和负刚度弹簧与外框相连...
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