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田毅

作品数：21 被引量：0H指数：0
供职机构：国家纳米科学中心更多>>
相关领域：文化科学化学工程理学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 21篇中文专利

领域

  • 4篇文化科学
  • 2篇化学工程
  • 1篇轻工技术与工...
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 12篇衬底
  • 10篇拉曼
  • 9篇纳米
  • 9篇表面增强拉曼
  • 6篇光学
  • 5篇灵敏度
  • 5篇敏度
  • 4篇金属膜
  • 4篇均一性
  • 4篇光学常数
  • 4篇硅衬底
  • 4篇参量
  • 4篇超厚
  • 3篇芯片
  • 3篇拉曼散射
  • 2篇导流
  • 2篇电学
  • 2篇电子束抗蚀剂
  • 2篇镀银
  • 2篇压印

机构

  • 21篇国家纳米科学...

作者

  • 21篇褚卫国
  • 21篇田毅
  • 19篇陈佩佩
  • 12篇闫兰琴
  • 11篇胡海峰
  • 8篇宋志伟
  • 8篇徐丽华
  • 4篇董凤良
  • 2篇张先锋

年份

  • 1篇2024
  • 2篇2023
  • 7篇2022
  • 4篇2021
  • 1篇2020
  • 2篇2019
  • 1篇2018
  • 2篇2017
  • 1篇2016
共 21 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种表面增强拉曼衬底的制备方法
本发明涉及纳米材料技术领域，涉及一种金属/介电材料复合的纳米阵列结构及其制作方法，特别涉及一种表面增强拉曼衬底及其制备方法，所述拉曼衬底是由金属和介电材料组成的纳米阵列结构，所述纳米阵列结构的线宽为10‑25nm。本发明...
陈佩佩褚卫国田毅闫兰琴
文献传递
一种表面增强拉曼基底及其制备方法
本发明提供了一种表面增强拉曼基底的制备方法，所述方法包括以下步骤：在基片上制备银膜，得到镀银基片；将所述镀银基片进行等离子体干法刻蚀，得到多孔结构的表面增强拉曼基底。此方法可制备颗粒度大小可调的银多孔结构，无需任何掩膜，...
徐丽华褚卫国陈佩佩宋志伟田毅
一种纳米压印模板及其制备方法和应用
本发明涉及一种纳米压印模板及其制备方法和应用，所述纳米压印模板包括依次层叠设置的硬质承载背板、弹性层和硬质模板层；所述硬质模板层包括至少两个互不接触的压印模块，所述压印模块包括层叠设置的第一模板层和第二模板层，所述第二模...
陈佩佩褚卫国田毅黄辉徐丽华徐陶然
一种利用光谱椭偏仪检测超厚金属膜的方法及装置
本发明提供一种利用光谱椭偏仪检测超厚金属膜的方法及装置。其中，该方法包括：预先确定硅衬底、介质膜以及金属膜组成的第三体系，并利用光谱椭偏仪测量所述第三体系中金属膜的椭偏参量；根据所述第三体系中金属膜的椭偏参量的特征峰出现...
赵乐褚卫国闫兰琴宋志伟董凤良陈佩佩田毅胡海峰徐丽华
一种表面增强拉曼散射基底
本发明涉及一种表面增强拉曼散射基底，所述表面增强拉曼散射基底包括衬底，设置于衬底一侧表面的墙阵列，以及设置于墙阵列表面的等离子体共振纳米结构层；所述墙阵列包括平面介质格栅，以及覆盖所述平面介质格栅与衬底表面的金属膜层。本...
田毅褚卫国陈佩佩胡海峰
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一种表面增强拉曼衬底及其制备方法
本发明涉及纳米材料技术领域，涉及一种金属/介电材料复合的纳米阵列结构及其制作方法，特别涉及一种表面增强拉曼衬底及其制备方法，所述拉曼衬底是由金属和介电材料组成的纳米阵列结构，所述纳米阵列结构的线宽为10‑25nm。本发明...
陈佩佩褚卫国田毅闫兰琴
文献传递
一种表面增强拉曼基底及其制备方法
本发明提供了一种表面增强拉曼基底的制备方法，所述方法包括以下步骤：在基片上制备银膜，得到镀银基片；将所述镀银基片进行等离子体干法刻蚀，得到多孔结构的表面增强拉曼基底。此方法可制备颗粒度大小可调的银多孔结构，无需任何掩膜，...
徐丽华褚卫国陈佩佩宋志伟田毅
文献传递
一种纳米压印模板及其制备方法和应用
本发明涉及一种纳米压印模板及其制备方法和应用，所述纳米压印模板包括依次层叠设置的硬质承载背板、弹性层和硬质模板层；所述硬质模板层包括至少两个互不接触的压印模块，所述压印模块包括层叠设置的第一模板层和第二模板层，所述第二模...
陈佩佩褚卫国田毅黄辉徐丽华徐陶然
文献传递
一种利用光谱椭偏仪检测超厚金属膜的方法及装置
本发明提供一种利用光谱椭偏仪检测超厚金属膜的方法及装置。其中，该方法包括：预先确定硅衬底、介质膜以及金属膜组成的第三体系，并利用光谱椭偏仪测量所述第三体系中金属膜的椭偏参量；根据所述第三体系中金属膜的椭偏参量的特征峰出现...
赵乐褚卫国闫兰琴宋志伟董凤良陈佩佩田毅胡海峰徐丽华
一种介质增强拉曼散射芯片及其制备方法与应用
本发明提供一种介质增强拉曼散射芯片及其制备方法与应用，所述介质增强拉曼散射芯片包括层叠设置的衬底和金属层；所述衬底和金属层之间还设置有周期性阵列的介质纳米结构；所述介质纳米结构的周期性阵列单元之间彼此独立。所述制备方法包...
陈佩佩褚卫国田毅胡海峰
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