张进学
- 作品数：1 被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
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- 宽带束离子注入机均匀性调节与控制方法研究
- 2016年
- 宽带束离子注入机的均匀性调节系统由线圈磁铁组及可调磁极组组成,通过分析调节原理,结合实际调试中获得的可调磁极组中单个磁极调节的束流均匀性影响曲线,拟合曲线,建立束流均匀性影响模型,进一步推导出调节模型。在实际应用中,设计合理的控制方法,根据束流的实际情况,采用内/外插值法,适时调节束流均匀性影响模型参数组,可改善模型的适应性。经过测试表明,采用基于束流均匀性调节模型的迭代调节方法,可实现束流均匀性调节,测试注入300 mm硅片的方块电阻均匀性达到1.17%。
- 彭立波钟新华张赛张进学
- 关键词：离子注入机迭代算法
