朱鹏辉
- 作品数：8 被引量：8H指数：1
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程更多>>
- 高精度平面子孔径拼接算法研究被引量：7
- 2016年
- 对平面子孔径拼接累积误差的理论分析及数值仿真表明,参考镜面形的拼接重叠区域的局部斜率差和直流偏差是产生累积误差的原因。为了提高大口径平面光学元件子孔径拼接检测精度,提出一种简单有效的可以减小子孔径拼接测量累积误差的方法,该方法采用第4项和第6项泽尼克像差拟合一个假设的准参考镜面形,再从每个子孔径测量结果中减去,最后拼接合成全口径面形。对450mm×60mm的平面镜进行了8个子孔径的拼接检测,去除准参考镜面形前后,拼接测量结果与Zygo公司24英寸(600mm)口径干涉仪检测结果的偏差峰谷(PV)值从λ/7减小至λ/100。所拟合的准参考镜面形误差为0.02λ(PV值),与标准镜的面形误差为同一量级,其对每个子孔径测量结果的影响可以忽略。实验结果表明,本文方法能够有效控制拼接累积误差,提高拼接检测精度。
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- 关键词：子孔径拼接
- 基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术被引量：1
- 2016年
- Ptychography是一种基于扫描式相干衍射成像的相位恢复技术,实验装置简单,抗干扰能力强。将Ptychography技术用于投影物镜波像差的检测,并分析了检测不同数值孔径投影物镜波像差所采用的光场传播公式、离散化条件及实验架构。数值仿真与实验结果表明,Ptychography技术用于波像差检测时检测标记的通光率需要在45%~80%范围内;增加标记图案的复杂性并在计算过程中增加配准环节可提高收敛速度与检测精度;波像差检测精度在10^(-3)λ以内。将Ptychography技术应用于极紫外光刻投影物镜波像差检测是可行的。
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- 关键词：极紫外光刻PTYCHOGRAPHYPIE相位恢复投影物镜
- 利用刀口作为检测标记的波像差检测系统及检测方法
- 一种利用刀口作为检测标记的波像差检测系统及基于刀口测试技术和扫描相干衍射成像(Ptychography)技术的波像差检测方法。该波像差检测系统包括：相干点光源，作为检测标记的刀口图形，固定刀口图形的检测标记调节位移台和二...
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- 文献传递
- 利用空间光调制器作检测标记的波像差检测系统及检测方法
- 一种利用空间光调制器作为检测标记的波像差检测系统及检测方法。该波像差检测系统包括：相干点光源，作为检测标记的二维空间光调制器和二维光电传感器。其中二维空间光调制器是由很多像素单元组成的二维阵列，每个像素单元都能独立地对入...
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- 文献传递
- 一种高精度平面子孔径拼接检测方法
- 一种高精度平面子孔径拼接检测方法，包含搭建子孔径拼接检测装置；对待测光学元件的该部分面形进行测量，得到该子孔径面形数据并保存；计算重叠区域局部斜率差：利用重叠区域局部斜率差通过第4项和第6项Zernike像差拟合准参考镜...
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- 文献传递
- 利用刀口作为检测标记的波像差检测系统及检测方法
- 一种利用刀口作为检测标记的波像差检测系统及基于刀口测试技术和扫描相干衍射成像(Ptychography)技术的波像差检测方法。该波像差检测系统包括：相干点光源，作为检测标记的刀口图形，固定刀口图形的检测标记调节位移台和二...
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- 文献传递
- 利用空间光调制器作检测标记的波像差检测系统及检测方法
- 一种利用空间光调制器作为检测标记的波像差检测系统及检测方法。该波像差检测系统包括：相干点光源，作为检测标记的二维空间光调制器和二维光电传感器。其中二维空间光调制器是由很多像素单元组成的二维阵列，每个像素单元都能独立地对入...
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- 文献传递
- 一种高精度平面子孔径拼接检测方法
- 一种高精度平面子孔径拼接检测方法，包含搭建子孔径拼接检测装置；对待测光学元件的该部分面形进行测量，得到该子孔径面形数据并保存；计算重叠区域局部斜率差：利用重叠区域局部斜率差通过第4项和第6项Zernike像差拟合准参考镜...
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- 文献传递
