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赵向娅

作品数：2 被引量：2H指数：1
供职机构：中国上海测试中心更多>>
相关领域：电子电信化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇化学工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电阻率
  • 1篇修正因子
  • 1篇圆片
  • 1篇四探针
  • 1篇特性分析
  • 1篇求法
  • 1篇简易求法
  • 1篇硅片
  • 1篇硅圆片
  • 1篇非圆
  • 1篇LSI

机构

  • 2篇中国上海测试...

作者

  • 2篇周全德
  • 2篇赵向娅

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇2015
  • 1篇1993
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
直排四探针电阻率硅圆片非圆心点直径修正因子F_2的简易求法被引量：2
1993年
介绍Si片电阻率和薄层电阻的四探针法测量中,一种简便而精确的求非圆心处F_2值的方法.
周全德赵向娅孙月珍
关键词：电阻率
LSI用φ100mm硅片特性分析
＜正＞该成果是上海市重点科技攻关项目"LSI-MOS用φ100mm硅片国产化及质量规范的研究"中的主要内容之一,是一项对LSI用φ100mm硅片特性评价的综合性测试分析,其中包括硅片的微区结构、微区电性、宏观电性、氧碳含...
张家坚陈春仙吴泳章周全德赵向娅谢启耀
文献传递
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