余耀
- 作品数：1 被引量：2H指数：1
- 供职机构：哈尔滨理工大学自动化学院更多>>
- 发文基金：黑龙江省教育厅科学技术研究项目黑龙江省自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 基于谐振原理的石英音叉数字温度传感器被引量：2
- 2016年
- 采用石英晶体热敏新切型(ZY切型)和音叉结构,设计了一种工作于弯曲振动模式,输出为频率信号的数字温度传感器。针对温度传感器的要求,对石英晶体双旋切角的频率温度特性和机电耦合系数进行分析,确定热敏切型,使其具有较高的频率温度系数和机电耦合系数。对石英音叉结构和振动模式进行有限元仿真分析,优化传感器结构,并采用微机械加工技术制作音叉。实验结果表明,该传感器谐振频率对温度极其敏感并具有良好的频率温度线性关系,在0°C到100°C的测温范围内,频率温度系数为70×10^(-6)°C^(-1),分辨力为0.002°C,测温精度为±0.05°C,低功耗小于0.03μw。
- 徐军孙国东余耀王禹马静
- 关键词：温度传感器谐振石英音叉
