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唐亮

作品数:2 被引量:3H指数:1
供职机构:华中科技大学电气与电子工程学院更多>>
发文基金:教育部留学回国人员科研启动基金更多>>
相关领域:理学更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇理学

主题

  • 2篇等离子体
  • 2篇化学气相
  • 2篇化学气相沉积
  • 1篇等离子体增强
  • 1篇等离子体增强...
  • 1篇等离子体制备
  • 1篇低温等离子体
  • 1篇氧化钛薄膜
  • 1篇气相沉积
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米TIO2...
  • 1篇光学
  • 1篇光学性
  • 1篇光学性能
  • 1篇二氧化钛薄膜
  • 1篇PECVD
  • 1篇TIO_2薄...
  • 1篇表面形貌

机构

  • 2篇华中科技大学

作者

  • 2篇胡鹏
  • 2篇但敏
  • 2篇刘明海
  • 2篇胡希伟
  • 2篇陈兆权
  • 2篇唐亮
  • 1篇饶波
  • 1篇程莉莉

传媒

  • 1篇强激光与粒子...
  • 1篇第十四届全国...

年份

  • 1篇2010
  • 1篇2009
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
纳米TiO_2薄膜的低温等离子体制备技术研究
纵观国内外近几年的研究,TiO_2作为一种重要的功能薄膜材料,具有化学活性高、分散性好、可见光透过性好及吸收紫外线等优良的理化性能。无论是基础理论研究,还是实际应用研究都取得了显著的成果,部分成果已经在太阳能电池、光电转...
陈兆权刘明海但敏唐亮饶波胡鹏胡希伟
关键词:TIO_2薄膜
文献传递
纳米TiO2薄膜的低温等离子体制备技术被引量:3
2010年
以四氯化钛为源物质,氩气为载气,氧气为反应气体,利用低温等离子体增强化学气相沉积在硅基表面制备出了TiO2薄膜。使用场发射扫描电子显微镜、X射线衍射仪等检测分析表征TiO2薄膜的性能与性质,并探讨了工艺条件如基片材料、沉积时间和基片温度对薄膜性能的影响。结果表明:制备的薄膜表面光滑均匀,结构致密,最小晶粒尺寸约15 nm;薄膜的晶型主要依赖于沉积温度,低于300℃沉积的薄膜是无定形的,300℃之上沉积的薄膜是锐钛矿结构。
陈兆权刘明海但敏唐亮程莉莉胡鹏胡希伟
关键词:等离子体化学气相沉积二氧化钛薄膜表面形貌光学性能
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