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张霞
作品数:
2
被引量:2
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司第十八研究所
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相关领域:
电气工程
电子电信
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合作作者
王宇
中国电子科技集团公司第十八研究...
范惠娟
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李春燕
中国电子科技集团公司第十八研究...
孙强
中国电子科技集团公司第十八研究...
杨智敏
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2021
1篇
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国产Lift-Off光刻胶在空间用太阳电池中的应用
2021年
选用两种较为典型的国产Lift-Off光刻胶(A和B)进行了实验优化,并进行了电极蒸镀后的牢固度测试、电致发光测试和电性能测试。在牢固度测试中发现,A电池样品有掉栅现象,B电池样品没有出现掉栅现象。通过EL测试和电性能测试分析证明,A电池的电极与太阳电池基体存在局部的接触不良现象。通过实验筛选出了一种应用前景较好的B型号国产Lift-Off负性光刻胶,有望经过进一步验证和优化后逐步应用在空间用太阳电池生产中。
杨智敏
杨智敏
张霞
关键词:
LIFT-OFF
光刻胶
太阳电池
图形反转双层光刻胶金属剥离技术
被引量:2
2005年
金属剥离技术是用于空间用太阳电池电极的关键工艺技术。为了实现真空蒸镀直接剥离7 mm金属层的目的,开发了图形反转双层光刻胶金属剥离技术。采用图形反转胶和正型光刻胶,实现了理想的光刻胶剖面图形,检测表明金属厚度达到7 μm。此技术已经用于高效太阳电池的批量生产中。空间环模条件考核表明此工艺制作的电极满足空间环境的要求。
李春燕
王宇
张霞
范惠娟
孙强
关键词:
太阳电池
光刻
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