唐宁
- 作品数：1 被引量：3H指数：1
- 供职机构：天津大学精密仪器与光电子工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 新型便携式薄膜体声波谐振气体传感器的研制与应用被引量：3
- 2016年
- 基于MEMS工艺的新型阵列化薄膜体声波谐振器(FBAR),可实现对多种挥发性气体的高通量检测.本文通过对薄膜体声波谐振器表面进行不同的化学官能团修饰,形成了传感器阵列,挥发性气体可以在不同化学官能团修饰的器件界面进行选择性沉积,通过监测传感器的谐振频率变化,形成气体响应的特征条形码,由此实现了对不同挥发性气体更加准确的检测.相对于传统的气体检测手段,由于采用了MEMS工艺,该传感器具备体积小巧、反应快捷、灵敏度高等优势,同时通过多化学官能团修饰的阵列化传感器可以实现一套传感装置对不同气体的检测,大大提高了气体检测的效率、识别能力和准确性.
- 唐宁常烨刘晶屈贺幂张代化庞慰段学欣
- 关键词：MEMS超分子化学
