李婧雯
- 作品数：56 被引量：15H指数：2
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- 发文基金：中国科学院战略性先导科技专项国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺电子电信自动化与计算机技术理学更多>>
- Al_(2)O_(3)/MgO复合膜层对微通道板性能的影响被引量：3
- 2021年
- 目的大幅提高微通道板增益,延长寿命。方法采用原子层沉积技术(ALD)在微通道板(MCP)大长径比(40:1)通道内壁沉积Al_(2)O_(3)/MgO复合膜层材料,对通道内壁二次电子发射层进行增强,改善其二次电子发射特性。通过设计复合膜层结构,采用Al_(2)O_(3)膜层保护易潮解的MgO膜层,提高复合膜层的稳定性。研究MgO膜层沉积工艺,基于SEM检测,实现在大长径比通道内制备出厚度均匀(不均匀性为3.8%)的膜层。研究MgO膜层厚度、沉积温度对MCP增益以及双片叠加增益达到10~7时工作电压的影响,确定最佳的复合膜层制作工艺。结果通过采用20 cycles Al_(2)O_(3)膜层进行封装保护,使表面制备复合膜层MCP在氮气柜中可稳定存储14 d。试验MgO最佳的膜层沉积工艺:沉积温度为210℃,膜层厚度为50 cycles(6.1 nm)。优化的"三明治"型复合膜层结构Al_(2)O_(3)/MgO/Al_(2)O_(3),沉积循环次数分别为5/50/20。在550 V电压下,复合膜层的MCP增益较常规MCP提高了3.9倍,应用于微通道板型光电倍增管(MCP-PMT)中,工作电压从1880V降低至1740 V,同时能量分辨率与峰谷比性能得到提升,寿命达到10 C/cm^(2)以上。结论在MCP上制作Al_(2)O_(3)/MgO复合膜层材料,能够有效提高其增益,降低应用器件的工作电压,同时延长MCP寿命。采用Al_(2)O_(3)膜层进行封装保护,对于MgO材料应用于MCP等光电探测元器件有非常重要的作用,同时MgO材料的应用可拓展MCP在探测活性离子等方面的应用。
- 张正君邱祥彪乔芳建丛晓庆李婧雯任玲王鹏飞
- 关键词：复合膜层
- 提高微通道板增益及微孔内壁化学稳定性的方法
- 本发明公开了一种提高微通道板增益及微孔内壁化学稳定性的方法，将经过腐蚀工艺后得到的具有多孔结构的微通道板进行脱碱工艺处理；所述脱碱工艺的具体步骤如下：将经过腐蚀处理并清洗烘干后的微通道板置于石英篮中，并放入石英玻璃容器中...
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- 微通道板制备用的压屏模具的变形程度测量装置与方法
- 本发明提供一种微通道板制备用的压屏模具的变形程度测量装置与方法，包括底座；多个滑块，可滑动地设置在底座上，多个滑块环抱分布并在中心形成一正六边形空间，用于放置微通道板屏段或者标准块；压圈，套在多个滑块的斜面上，具有使得多...
- 丛晓庆刘建强张正君刘文伟李婧雯乔芳建张珈玮钱琳徐伟郭燕
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- 微孔光学元件及其制备方法
- 本发明提供一种微孔光学元件的制备方法，使用光敏玻璃材料来制备，通过样品制备、紫外线照射、热处理、蚀刻和烘烤后，得到微孔光学元件。利用本发明制备方法制备的微孔光学元件，具有微孔形状规则、均匀的特点，微孔光学元件上微孔的大小...
- 金戈张诗鲲张智勇丛晓庆邵爱飞赵慧民徐伟高鹏李婧雯王健
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- 利用ALD提高MCP通道镀膜增益稳定性的方法、ALD-MCP及应用
- 本发明涉及MCP技术领域，提供一种利用ALD提高MCP通道镀膜增益稳定性的方法、ALD‑MCP及应用。本发明在微通道板的功能层基础上，利用ALD技术沉积Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>膜层前，先制作...
- 邱祥彪孙建宁张正君丛晓庆司曙光任玲王兴超李婧雯乔芳建王鹏飞
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- 具有大粗糙度通道内表面的微孔光学元件及其制备方法
- 本发明提供了一种具有大粗糙度通道内表面的微孔光学元件及其制备方法，通过将抛光好的微通道板半成品顺序进行度酸碱交替腐蚀、高浓度酸腐蚀和真空高温烘烤，使得微孔光学元件的通道内表面形成粗糙度大于10nm的表面，可以实现将微孔光...
- 徐昭李婧雯金戈孙建宁张正君毛汉琪邱祥彪王健郭燕
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- 旋转式微通道板腐蚀装置与腐蚀方法
- 本发明提供一种旋转式微通道板腐蚀装置与腐蚀方法，包括：电动机；液压传动组件，具有液压传动轴；用于放置腐蚀夹具的托盘，与液压传动组件连接；石英腐蚀夹具，设置在所述托盘上腐蚀槽；供排液系统；以及用于清洗微通道板的超声波装置；...
- 李婧雯孙建宁张欢邱祥彪张正君丛晓庆牛鹏杰孙赛林高鹏郭一亮
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- 超大长径比微通道板通道内壁制备功能膜层的方法
- 本发明提供一种超大长径比微通道板通道内壁制备功能膜层的方法，通过提供新型设计的沉积用反应腔，结合充分扩散的工艺，在超大长径比微通道板基底内壁沉积厚度均匀的具有高二次电子发射系数、高介电常数的单一功能膜层或者复合功能膜层以...
- 孙建宁邱祥彪曹柱荣张正君丛晓庆毛汉祺李婧雯乔芳建高鹏牛鹏杰张欢
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- 大尺寸小开口面积比的探测级微通道板及其制备方法
- 本发明提供一种大尺寸小开口面积比的探测级微通道板及其制备方法，微通道板的外观直径尺寸(D1)范围为50mm至200mm，有效探测直径为45mm至190mm；微通道板的孔间距(D3)与通道孔径(D2)的比值范围为1.5‑5...
- 乔芳建张正君丛晓庆邱祥彪李婧雯司曙光任玲王兴超张振杨锋
- 大面积微通道板型光电倍增管测试装置与测试方法
- 本发明提供一种大面积微通道板型光电倍增管测试装置与测试方法，通过单片机控制三维旋转台的电机转动，控制三维旋转台的转动和灯架的转动；信号发生器用于控制测试装置的光源，光源通过积分球产生均匀照度的光，再通过一分两路光纤给三维...
- 司曙光金真黄国瑞李珅邵爱飞王健徐海洋赵慧民孙赛林李婧雯
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