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许诚昕
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张白
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凌味未
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徐承成
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黄金
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张白
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马文英
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凌味未
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一种激光波长修正式角反射镜激光干涉仪
本实用新型涉及一种精密测试技术及仪器领域,特别涉及一种激光波长修正式角反射镜激光干涉仪,所述激光波长修正式角反射镜激光干涉仪,包括激光源、固定角反射镜、光电探测器、测量角反射镜装置和分光镜,所述测量角反射镜装置包括测量角...
许诚昕
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采用激光波长修正式角反射镜激光干涉仪的测量方法
本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域,特别涉及一种激光波长修正式角反射镜激光干涉仪及测量方法,所述激光波长修正式角反射镜激光干涉仪,包括激光源、固定角反射镜、光电探测器、测量角反射镜装置和分光镜,所述测量角反射镜装置包括...
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一种采用波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪的激光波长修正方法
本发明公开了一种波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪及波长修正方法,包括激光源、分光镜、固定阶梯平面角反射镜、测量角反射镜装置、光电探测器组,其中测量角反射镜装置包括测量角反射镜与精密位移装置,激光源包括n,个平行激光...
许诚昕
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一种波长修正式多光束阶梯平面反射镜激光干涉仪及波长修正方法
本发明公开了一种波长修正式多光束阶梯平面反射镜激光干涉仪及波长修正方法,包括激光源、分光镜、固定反射镜、测量反射镜装置、光电探测器组,其中激光源包括n(n≥2)个平行激光束,光电探测器组包括n个光电探测器件。测量反射镜装...
许诚昕
曾祥平
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彭烨
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一种激光波长修正式角反射镜激光干涉仪及测量方法
本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域,特别涉及一种激光波长修正式角反射镜激光干涉仪及测量方法,所述激光波长修正式角反射镜激光干涉仪,包括激光源、固定角反射镜、光电探测器、测量角反射镜装置和分光镜,所述测量角反射镜装置包括...
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新型激光波长测量装置及其标定方法、测量方法
本发明涉及新型激光波长测量装置及其标定方法、测量方法,所述新型激光波长测量装置包括:棱镜、折射镜、光电探测器与处理系统,所述棱镜用于接收激光,且使入射的激光发生折射后射出,所述折射镜用于接收经棱镜折射后的激光,使得激光发...
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一种波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪及波长修正方法
本发明公开了一种波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪及波长修正方法,包括激光源、分光镜、固定阶梯平面角反射镜、测量角反射镜装置、光电探测器组,其中测量角反射镜装置包括测量角反射镜与精密位移装置,激光源包括n,个平行激光...
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一种波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪
本实用新型公开了一种波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪,包括激光源、分光镜、固定阶梯平面角反射镜、测量角反射镜装置、光电探测器组,其中测量角反射镜装置包括测量角反射镜与精密位移装置,激光源包括n,个平行激光束,n≥2...
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一种波长修正式多光束阶梯平面反射镜激光干涉仪
本实用新型公开了一种波长修正式多光束阶梯平面反射镜激光干涉仪,包括激光源、分光镜、固定反射镜、测量反射镜装置、光电探测器组,其中激光源包括n(n≥2)个平行激光束,光电探测器组包括n个光电探测器件。测量反射镜装置包括测量...
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一种采用波长修正式多光束阶梯平面反射镜激光干涉仪的激光波长修正方法
本发明公开了一种波长修正式多光束阶梯平面反射镜激光干涉仪及波长修正方法,包括激光源、分光镜、固定反射镜、测量反射镜装置、光电探测器组,其中激光源包括n(n≥2)个平行激光束,光电探测器组包括n个光电探测器件。测量反射镜装...
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