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姜帆
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西安交通大学
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宋忠孝
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一种N<Sub>2</Sub>处理的非晶IGZO透明氧化物薄膜及其制备方法
一种N<Sub>2</Sub>处理的非晶IGZO透明氧化物薄膜及其制备方法,该制备方法包括:1)在生长有SiO<Sub>2</Sub>的Si基片上溅射IGZO非晶薄膜,得到生长有IGZO非晶薄膜的硅基片;2)将生长有IG...
宋忠孝
李雁淮
李怡雪
张丹
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一种N2处理的非晶IGZO透明氧化物薄膜及其制备方法
一种N<Sub>2</Sub>处理的非晶IGZO透明氧化物薄膜及其制备方法,该制备方法包括:1)在生长有SiO<Sub>2</Sub>的Si基片上溅射IGZO非晶薄膜,得到生长有IGZO非晶薄膜的硅基片;2)将生长有IG...
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