秦顺利
- 作品数：10 被引量：8H指数：2
- 供职机构：中国矿业大学更多>>
- 发文基金：江苏省自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术矿业工程电子电信更多>>
- 一种MEMS甲烷传感器的催化剂载体的制备装置
- 一种MEMS甲烷传感器的催化剂载体的制备装置，包括磁力搅拌器，磁力搅拌器上设有内装有纳米氧化铝溶胶的容器，容器内的设有磁力搅拌子、高纯铝片和硅圆片，高纯铝片和硅圆片分别经导线与直流电压源相连，高纯铝片连接直流电压源的正级...
- 秦顺利马洪宇王丽影丁恩杰
- 文献传递
- 高温微加热器的热电效应研究
- 对于热催化、金属氧化物半导体、甚至红外等气体传感器而言，微加热器是一个关键元件。用于热催化、金属氧化物半导体及红外气体传感器的微加热器，由于加热温度较低，其研究主要集中在微加热器的温度分布均匀性、功率优化等方面，尚未考虑...
- 秦顺利
- 关键词：热电效应正弦激励气体传感
- 一种电容式MEMS气体传感器
- 一种电容式MEMS传感器，尤其适用煤矿安全监测以及生产生活中对空气中甲烷气体的检测，也可运用于特殊环境中氦气、二氧化碳、氩气等气体的检测，其包括一个热执行器和两个梳齿电容，热执行器包括若干对硅梁、一个微梭和锚区；每组梳齿...
- 马洪宇王丽影秦顺利
- 文献传递
- 一种MEMS甲烷传感器的催化剂载体圆片级制备方法
- 一种MEMS甲烷传感器的催化剂载体圆片级制备方法，属于传感器的催化剂载体制备方法。采用一种电泳沉积的方法在硅圆片上批量制备MEMS甲烷传感器的催化剂载体；硅圆片上制备有多个MEMS甲烷传感器加热元件，每个MEMS甲烷传感...
- 马洪宇秦顺利王丽影丁恩杰
- 矿用MEMS甲烷传感器硅微加热器功率优化设计被引量：3
- 2018年
- 在ANSYS有限元分析软件中对矿用微机电系统(MEMS)甲烷传感器硅微加热器功率进行了优化设计。首先建立了基于已知掺杂浓度求解一定温度范围内硅电阻率的计算模型;然后根据计算结果,利用ANSYS软件对U型双悬臂梁式硅微加热器进行了以掺杂浓度、两悬臂间距、悬臂梁宽度为影响因素的正交试验,研究了不同因素对硅微加热器功率的影响。试验结果表明:悬臂梁宽度和掺杂浓度为硅微加热器功率的主要影响因素,两悬臂间距影响较小;硅微加热器功率随悬臂梁宽度的减小而减小,随掺杂浓度的升高先增大后减小;温度为600℃时,选取悬臂梁宽度为25μm、掺杂浓度为1019 cm-3、两悬臂间距为10μm可使硅微加热器功率最优。
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- 关键词：煤矿安全功率优化
- 基于硅加热器的MEMS甲烷传感器及其制备方法与应用
- 一种基于硅加热器的MEMS甲烷传感器及其制备方法，属于甲烷传感器及其制备方法，特别属于采用微电子机械系统加工技术的甲烷传感器及其制备方法与甲烷检测方法。该甲烷传感器采用普通的单晶硅硅圆片加工硅加热器，硅加热器同时作为甲烷...
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- 文献传递
- 基于DCS的多轴承振动信号重构算法研究被引量：5
- 2019年
- 针对轴承状态监测中多传感器会产生大量数据,给数据存储、传输和处理带来困难的问题,提出一种适用于多轴承振动信号的分布式压缩感知重构算法。通过引入离散余弦变换,实现了轴承振动信号在变换域的稀疏化;通过基于TSBL的重构算法,实现了多轴承振动信号的联合重构。实验利用机械故障模拟器产生的多传感加速度振动信号对提出的算法进行了分析。结果表明:提出的基于分布式压缩感知技术的联合重构算法能以更少数据重构原始信号,进一步提升了重构性能,解决了轴承状态监测中多传感器数据采集造成的问题。
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- 一种电容式MEMS气体传感器
- 一种电容式MEMS传感器，尤其适用煤矿安全监测以及生产生活中对空气中甲烷气体的检测，也可运用于特殊环境中氦气、二氧化碳、氩气等气体的检测，其包括一个热执行器和两个梳齿电容，热执行器包括若干对硅梁、一个微梭和锚区；每组梳齿...
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- 一种MEMS甲烷传感器的催化剂载体圆片级制备方法
- 一种MEMS甲烷传感器的催化剂载体圆片级制备方法，属于传感器的催化剂载体制备方法。采用一种电泳沉积的方法在硅圆片上批量制备MEMS甲烷传感器的催化剂载体；硅圆片上制备有多个MEMS甲烷传感器加热元件，每个MEMS甲烷传感...
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- 文献传递
- 全硅MEMS甲烷传感器及瓦斯检测应用和制备方法
- 一种全硅MEMS甲烷传感器及瓦斯检测应用和制备方法，适用于工矿环境下使用，属于甲烷传感器及其制备方法与检测方法，特别属于采用微电子机械系统加工技术的甲烷传感器及其甲烷检测方法。该全硅MEMS传感器采用单晶硅作为加热元件的...
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