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刘迪
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一种多点位的超声石英弯曲微探针阵列及其制备方法
本发明提供一种多点位的超声石英弯曲微探针阵列的制备方法,具体步骤包括:确定所需超声石英弯曲微探针的个数和超声石英弯曲微探针的加工参数;对石英玻璃管横向拉制和法向打弯,得到符合加工参数的超声石英弯曲微探针;利用激光测振仪对...
李萌
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祝新昂
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