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姜柳笛

作品数:1 被引量:0H指数:0
供职机构:合肥工业大学应用物理系更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇金刚石
  • 1篇金刚石薄膜
  • 1篇刚石
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体材料
  • 1篇掺杂
  • 1篇P-

机构

  • 1篇合肥工业大学

作者

  • 1篇王和照
  • 1篇姜柳笛

传媒

  • 1篇微细加工技术

年份

  • 1篇1995
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
P-型金刚石半导体制备及其性能研究
1995年
利用热丝化学气相沉积法,以硼酸三甲酯为液态掺杂源,用H_2携带,制备出高质量的p型金刚石薄膜。经检测,其晶体结构常数与天然金刚石十分接近。对掺杂样品计算表明,硼掺杂浓度是6.5×10 ̄(19)cm ̄(-3)室温下空穴载流子浓度是8×10 ̄(16)cm ̄(-3),电离率为1.23/1000。
王和照姜柳笛张建军
关键词:金刚石薄膜半导体掺杂半导体材料
共1页<1>
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