吴令奇 作品数:14 被引量:9 H指数:2 供职机构: 中国科学院上海光学精密机械研究所 更多>> 相关领域: 机械工程 理学 金属学及工艺 更多>>
光学非球面三坐标测量中的像散补偿 被引量:6 2016年 利用三坐标测量仪在光学非球面镜研磨与粗抛阶段进行面形检测时,测量结果常由于补偿程序不完善而出现像散误差。本文分析了非球面三坐标测量得到的数据,指出测量结果中出现像散误差是测头半径补偿不准确所致。然后,提出了一种离线数据处理方法对测量数据进行补偿来消除像散误差。该方法通过计算网格排列的测头中心点行和列方向的切向量得出曲面上每个点的法向矢量;根据测头半径计算出测头球心到接触点的偏移量,从而实现三坐标测量仪的三维测头半径补偿。球面样板实验显示这种方法可以将该样板测量中的像散峰谷值(PV)由4.921 9μm减小到0.065 2μm,基本消除了测量结果中的像散误差,提高了三坐标测量结果的准确度。实验结果验证了提出的三维测头半径补偿程序的有效性。 范晓明 罗词金 徐学科 吴令奇 胡晨关键词:非球面检测 三坐标测量仪 测头半径补偿 像散补偿 高精度曝光透镜的加工方法 一种用于脉冲压缩光栅制作的高精度曝光透镜加工方法,该方法包括搭建自准直干涉检测装置、曝光透镜非球面的铣磨加工、研抛、精密抛光和平滑处理,并在研抛、精密抛光和平滑处理过程采用所述的自准直干涉检测装置对待加工曝光透镜的透过波... 胡晨 邵建达 魏朝阳 吴令奇 顾昊金文献传递 高精度曝光透镜的加工方法 一种用于脉冲压缩光栅制作的高精度曝光透镜加工方法,该方法包括搭建自准直干涉检测装置、曝光透镜非球面的铣磨加工、研抛、精密抛光和平滑处理,并在研抛、精密抛光和平滑处理过程采用所述的自准直干涉检测装置对待加工曝光透镜的透过波... 胡晨 邵建达 魏朝阳 吴令奇 顾昊金文献传递 大口径非球面元件精抛加工组合磨盘及加工方法 一种大口径非球面元件精抛加工组合磨盘及加工方法,组合磨盘由中心盘、加强板、固定杆、活动杆、锁紧块组件和球关节抛光盘构成。活动杆控制着球关节抛光盘所在待加工大口径非球面元件的位置,从而实现对所需环带的加工。三个球关节抛光盘... 洪美娟 顿爱欢 顾建勋 吴令奇 徐学科文献传递 中心注液式光学抛光头 一种中心注液式光学抛光头,包括装置支架、驱动轴、涨紧轴和抛光轴。装置支架由高强度铝合金板拼接。驱动轴包括:驱动电机、联轴器套、联轴器、第一轴承(1对)、轴套、转轴、第一锁紧环和第一同步带轮。涨紧轴包括锁紧螺母、涨紧杆、反... 侯瑞 邵建达 嵇文超 顿爱欢 吴伦哲 杨扬 刘斌 吴令奇 徐学科等厚离轴非球面反射镜的加工方法 一种高精度等厚离轴非球面反射镜的高效加工方法,本发明通过同轴母镜工装的设计,实现了子镜精确定位及等厚加工,能多块等厚离轴非球面反射镜同时加工,具有加工成本低、加工精度高和加工效率高的特点。 胡晨 吴令奇 顾昊金 魏朝阳 邵建达文献传递 等厚离轴抛物面反射镜特征参量的高精度测量方法 一种等厚离轴抛物面反射镜特征参量的高精度测量方法,本发明采用的检测系统包括激光干涉仪,离轴抛物面反射镜,标准平面反射镜,基准十字分划板,小平面基准反射镜,经纬仪以及带光栅尺的导轨。采用光学非接触式的高精度测量方法,能同时... 胡晨 邵建达 魏朝阳 吴令奇 顾昊金文献传递 离轴抛物面反射镜干涉测量面形投影畸变的修正方法 一种修正离轴抛物面反射镜干涉测量面形投影畸变的方法。本发明根据已知离轴抛物面母镜、离轴子镜与干涉仪三者之间的位置关系,通过坐标投影变换计算并结合相应的标定方法,可以简便快速的实现对离轴抛物面反射镜干涉测量投影畸变的修正,... 胡晨 邵建达 魏朝阳 吴令奇 顾昊金文献传递 非球面光学元件面形误差边缘处理方法(特邀) 被引量:3 2022年 计算机控制光学元件面形修复(Computer Control Optics Surfacing, CCOS)需要通过计算驻留时间,反复迭代,从而得到更小的误差。因为干涉测试过程中边缘面形测试的条件限制,只能得到更小孔径的误差分布图,所以面形的预测性延拓是磁流变抛光、离子束抛光等加工方式的基础技术。基于面形误差的相似性和边缘误差的连续性为出发点,开发了采用基于Zernike拟合和Laplace方程配合的方法进行光学元件面形误差边缘延拓技术。开展了相关理论分析,设计相关算法并实现了延拓过程,延拓结果符合面形相似形和连续性的加工要求,采用直接法和残余误差计算方法对延拓结果进行评估,结果证明了延拓方法的有效性。 吴伦哲 徐学科 吴令奇 王哲关键词:LAPLACE方程 带楔角米级大口径光学元件侧边抛光机及抛光方法 一种米级大口径光学元件侧面抛光机及抛光方法,抛光机包括背面垫块,主轴转盘,摆幅减速机,摆幅电机,主轴减速机,主轴电机。本发明背面垫块可根据元件的楔角定制,增加了本发明的适用性。本发明通过双轴联动的方式,带动磨盘在相互垂直... 曹俊 王哲 秦德华 侯瑞 邹黎 顿爱欢 吴令奇 徐学科