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刘霞

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：山西师范大学化学与材料科学学院更多>>
发文基金：山西省青年科技研究基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇真空
  • 1篇真空退火
  • 1篇退火
  • 1篇溅射
  • 1篇COPT
  • 1篇L1
  • 1篇表面形貌
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇磁性

机构

  • 1篇山西师范大学

作者

  • 1篇全志勇
  • 1篇张丽
  • 1篇刘霞

传媒

  • 1篇原子与分子物...

年份

  • 1篇2017
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
真空退火对L1_0-CoPt薄膜结构、磁性及表面形貌的影响被引量：2
2017年
本文利用磁控溅射的方法制备了L1_0-CoPt薄膜,研究了不同退火条件对薄膜结构、磁性以及表面形貌的影响.通过优化退火温度、保温时间以及升温速率,制备出了具有大矫顽力、高矩形比、粗糙度小的垂直各向异性L1_0-CoPt薄膜.实验发现,较高的退火温度有利于克服CoPt薄膜有序化转变所需要的能量,同时适当延长退火时间可以提高CoPt薄膜的扩散系数,从而促使无序相fcc转化为L1_0有序相fct结构.此外,退火过程中减缓升温速率可以有效减小薄膜粗糙度,从而形成平整连续膜.
宋智林刘霞张丽全志勇
关键词：磁控溅射退火磁性表面形貌
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