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付宏
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清华大学
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自动化与计算机技术
文化科学
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合作作者
张文增
清华大学
胡楚雄
清华大学
张鸣
清华大学
朱煜
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彭靖淞
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付宏
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流体驱动柔性杆簇自适应机器人手装置
流体驱动柔性杆簇自适应机器人手装置,属于机器人手技术领域,包括基座、多个滑动推杆、膜皮、流体、多个活塞和多个簧件。本发明装置用于机器人抓取物体,实现了离散空间自适应抓取功能:利用多个滑动推杆获得对物体大小和形状的自适应效...
付宏
张文增
文献传递
多维杆簇自适应机器人抓持装置
多维杆簇自适应机器人抓持装置,属于机器人抓持装置技术领域,包括机架、流体源、可排空流体容器、多个杆群组件、多个电磁阀和多个导管等;所述杆群组件包括基座、柔性膜皮和阵列排布的多个推杆组件。该装置通过流体源、柔性膜皮与多向布...
付宏
彭靖淞
王文淦
张文增
一种磁悬浮平面电机
本发明公开一种磁悬浮平面电机,包括磁钢阵列、线圈模块阵列、冷却管网等。线圈模块阵列呈V形阵列排布,每一列的线圈基座第一流体接口和第二流体接口分别形成一列流体接口,且相邻列的流体接口靠近布置作为一列流体接口,奇数列流体接口...
胡楚雄
付宏
朱煜
张鸣
文献传递
激光3D打印装置
本实用新型涉及光固化增材制造技术领域,尤其涉及一种激光3D打印装置。本申请采用的光固化材料作为原料,并通过激光源照射使光固化材料进行固化的方式,其原料为光固化材料在无激光照射的情况下不会出现固化的现象,因此有效地避免了出...
胡楚雄
汪泽
付宏
文献传递
流体驱动柔性杆簇自适应机器人手装置
流体驱动柔性杆簇自适应机器人手装置,属于机器人手技术领域,包括基座、多个滑动推杆、膜皮、流体、多个活塞和多个簧件。本发明装置用于机器人抓取物体,实现了离散空间自适应抓取功能:利用多个滑动推杆获得对物体大小和形状的自适应效...
付宏
张文增
文献传递
集成电路装备光刻机发展前沿与未来挑战
2024年
光刻机是集成电路制造中最为核心的高端装备,在60余年的发展历程中不断挑战人类超精密制造装备的极限,推动着摩尔定律的持续向前和信息时代的飞速发展,对于科技进步、国民经济、国家安全具有极为重要的战略意义.本文阐述了光刻机在集成电路制造装备中的核心地位,介绍了光刻的基本原理,梳理了国际上光刻机从20世纪60年代至今的发展脉络,围绕光刻机三大核心部件分析了光刻机中的关键技术及面临的极限技术挑战.在此基础上,本文展望了未来光刻机的发展趋势和未来方向.
胡楚雄
周冉
付宏
张鸣
朱煜
关键词:
集成电路
光刻机
多维杆簇自适应机器人抓持装置
多维杆簇自适应机器人抓持装置,属于机器人抓持装置技术领域,包括机架、流体源、可排空流体容器、多个杆群组件、多个电磁阀和多个导管等;所述杆群组件包括基座、柔性膜皮和阵列排布的多个推杆组件。该装置通过流体源、柔性膜皮与多向布...
付宏
彭靖淞
王文淦
张文增
文献传递
调节组件及直线电机装置
本申请涉及直线电机技术领域,尤其涉及一种调节组件及直线电机装置。本申请提供的调节组件,调节组件包括导杆和基座套件;基座套件用于与直线电机的动子连接,基座套件具有两端开口的内腔、注气孔以及第一调节间隙。在直线电机运行过程中...
汪泽
胡楚雄
付宏
柔性件缠绕弹性变位杆簇自适应机器人手装置
柔性件缠绕弹性变位杆簇自适应机器人手装置,属于机器人技术领域,包括基座、驱动器、柔性件、多孔弹性块、多个滑动推杆和簧件等。该装置利用了多个滑动推杆实现对目标物体大小和形状的自适应功能;利用驱动器带动传动机构,使得柔性件收...
付宏
张文增
文献传递
基于多束激光的3D打印装置
本实用新型公开了一种基于多束激光的3D打印装置,属于增材制造技术领域。基于多束激光的3D打印装置包括浆料输出头、激光发生器以及基板。浆料输出头与光固化区域对应设置,以使浆料输出头输出在基板上的浆料置于光固化区域内。本实用...
汪泽
胡楚雄
付宏
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