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牛君

作品数：1 被引量：15H指数：1
供职机构：石家庄职业技术学院更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇微机电系统
  • 1篇机电系统
  • 1篇MEMS
  • 1篇MEMS技术
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇石家庄职业技...

作者

  • 1篇刘云桥
  • 1篇牛君

传媒

  • 1篇科技资讯

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
MEMS技术的发展与应用被引量：15
2007年
MEMS是微机电系统的简称,是多种学科交叉融合的前沿高技术,是未来的主导产业之一,将对21世纪人类的科学技术、生产方式和生活方式产生深远的影响。本文简要介绍了MEMS的基本概念、产生发展过程、技术特点、制造工艺、以及主要应用。
牛君刘云桥
关键词：MEMS微机电系统
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共1页<1>
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