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张勇
作品数:
3
被引量:7
H指数:2
供职机构:
沈阳真空技术研究所
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相关领域:
化学工程
电气工程
电子电信
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合作作者
魏海波
沈阳真空技术研究所
赵新宇
沈阳真空技术研究所
陈立新
沈阳真空技术研究所
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建筑材料
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程序控制器
1篇
磁控溅射靶
机构
3篇
沈阳真空技术...
作者
3篇
魏海波
3篇
张勇
2篇
赵新宇
1篇
陈立新
传媒
2篇
真空
1篇
计算机研究与...
年份
1篇
1995
2篇
1994
共
3
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可编程序控制器在建筑玻璃真空镀膜生产上的应用
被引量:2
1995年
本文简要地介绍了S5-115U可编程序控制器操作系统的结构、原理、特点及它在建筑玻璃真空镀膜生产线上的应用,系统组成,程序编制和在应用中注意的问题。
魏海波
张勇
赵新宇
陈立新
关键词:
真空镀膜
建筑玻璃
程序控制器
可控硅式磁控溅射靶极电源的研制
被引量:1
1994年
本文介绍的电源具有下垂特性的电流,电压负反馈双闭环系统,采用P-I调节,使电源系统具有良好的动态特性。引入了电流截止负反馈,解决靶极辉光放电问题。该电源与负载匹配能力强、体积小、集成度高、抗干扰能力强、调节方便。
张勇
魏海波
关键词:
电源
用S5-115U可编程控制器实现建筑玻璃真空镀膜生产的自动控制
被引量:4
1994年
本文介绍了用S5-115U可编程控制器实现建筑玻璃镀膜生产的自动控制,实现对磁控溅射靶电源自动控制,系统组成,程序编制及在应用中注意的问题。该系统稳定,可靠。功能强,维修方便。同时,解决了靶极异常放电对镀膜质量的影响,从而实现了建筑玻璃真空镀膜生产过程的自动化。
魏海波
张勇
赵新宇
关键词:
自动控制
真空镀膜
建筑材料
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