张桐
- 作品数：10 被引量：8H指数：1
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家重大科学仪器设备开发专项更多>>
- 相关领域：机械工程理学文化科学自动化与计算机技术更多>>
- 极紫外波段变栅距光栅刻槽密度变化及光谱分辨能力分析被引量：7
- 2015年
- 针对应用于50~150 nm波段的变栅距光栅,采用球面波曝光系统进行优化设计,分析了不同宽度光栅的刻槽密度变化和光谱分辨能力。理论分析结果表明,光栅宽度为4 mm时,理论分辨能力高于14 000;光栅宽度为10 mm时,理论分辨能力约为9 000;光栅宽度为30 mm时,理论分辨能力急剧下降,约为3 000。光栅的宽度越大,其刻槽弯曲程度就越大,光栅的光谱分辨能力就越低,因此球面波曝光系统只适合制作宽度较小的变栅距光栅。
- 李文昊姜岩秀吴娜张桐王鹍
- 关键词：球面波
- 光栅衍射效率测试装置
- 本发明提供一种光栅衍射效率测试装置，包括：底板、分别安装在底板上的转轴、刻度盘、用于调节待测光栅位置及角度的五维调整装置，在五维调整装置上安装有用于夹紧待测光栅的光栅夹具，在转轴上分别安装有用于显示衍射光角度的出臂和用于...
- 张桐李文昊张伟姜岩秀郑钟铭姜珊刘兆武王玮吴娜
- 文献传递
- 紫外高分辨率像散校正型罗兰全息光栅设计被引量：1
- 2017年
- 为了降低紫外高分辨率罗兰光栅的像散对光谱像高展宽的影响,提出了在罗兰圆上使用球面波非对称曝光设计思路。推导完全校正离焦和子午彗差的表达式,讨论了多种罗兰光栅记录结构的局限性,优选适合校正紫外高分辨率罗兰光栅的优化方法。通过全息光栅像面展宽表达式,指出像散和弧矢彗差是影响光谱像高的主要因素,并分配了两者的优化权重。利用这种优化思路,设计了工作波段110~200nm紫外高分辨率罗兰光栅,同时对比分析了传统光栅的像差系数和像高变化规律、像面结构和光谱分辨率。结果表明,和传统罗兰光栅分辨率处于同一数量级的情况下,所设计光栅光谱像高由25mm降低到1.5mm,谱面能量集中度有显著的提高。
- 赵旭龙巴音贺希格巴音贺希格李文昊吴娜吴娜
- 关键词：光栅设计
- 轴承内外径测量装置及其测量方法
- 本发明涉及轴承测量技术领域，提供一种轴承内外径测量装置及其测量方法，用于解决在装夹时存在偏心误差，精度不高，拟合计算直径时存在拟合误差的问题。本发明利用V型块的定位特性，无需对轴承进行回转，避免了装调时偏心等因素带来的仪...
- 于硕王玮李文昊姚雪峰张桐刘兆武白雪龙
- 轴承跳动测量装置
- 本发明提供的一种轴承跳动测量装置，该装置包括底座、电动升降台和旋转电机，电动升降台与底座固定连接，旋转电机固定在电动升降台上，该装置还包括夹爪和底部测量系统，夹爪用于夹起待测轴承，夹爪与旋转电机固定连接；底部测量系统包括...
- 张桐李文昊王玮姜岩秀张伟吴娜于硕
- 轴承内外径测量装置及其测量方法
- 本发明涉及轴承测量技术领域，提供一种轴承内外径测量装置及其测量方法，用于解决在装夹时存在偏心误差，精度不高，拟合计算直径时存在拟合误差的问题。本发明利用V型块的定位特性，无需对轴承进行回转，避免了装调时偏心等因素带来的仪...
- 于硕王玮李文昊姚雪峰张桐刘兆武白雪龙
- 回转类零件测量时轴心对准方法
- 本发明涉及精密测量技术领域，提供一种回转类零件测量时轴心对准方法，包括以下步骤：S11、将V型块平放在三坐标机平台上，并将探针移动至V型块的V型槽底角Y<Sub>1</Sub>坐标位置处；S12、利用探针测量在Y<Sub...
- 李文昊于硕王玮张桐姚雪峰刘兆武白雪龙
- 回转类零件测量时轴心对准方法
- 本发明涉及精密测量技术领域，提供一种回转类零件测量时轴心对准方法，包括以下步骤：S11、将V型块平放在三坐标机平台上，并将探针移动至V型块的V型槽底角Y<Sub>1</Sub>坐标位置处；S12、利用探针测量在Y<Sub...
- 李文昊于硕王玮张桐姚雪峰刘兆武白雪龙
- 轴承跳动测量装置
- 本发明提供的一种轴承跳动测量装置，该装置包括底座、电动升降台和旋转电机，电动升降台与底座固定连接，旋转电机固定在电动升降台上，该装置还包括夹爪和底部测量系统，夹爪用于夹起待测轴承，夹爪与旋转电机固定连接；底部测量系统包括...
- 张桐李文昊王玮姜岩秀张伟吴娜于硕
- 光栅栅距测量装置及方法
- 本发明光栅栅距测量装置及方法涉及光栅检测领域，解决了人为操作对精度的影响，和高精度检测时系统的复杂程度的问题。利用光栅衍射干涉原理结合光栅相移定理解决以上问题，采用对称结构的Littrow衍射光相干涉，当光栅移动一个栅距...
- 刘兆武姜岩秀孙宇佳刘林李文昊姜珊王玮张桐于硕
