王倩
- 作品数：36 被引量：8H指数：2
- 供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
- 发文基金：应用光学国家重点实验室开放基金国家科技重大专项中国工程院咨询项目更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程经济管理更多>>
- 检测装置、检测准分子激光器放电腔部件钝化程度的方法
- 本发明实施例提供一种检测装置、检测准分子激光器的放电腔部件钝化程度的方法，涉及光电技术领域，可判断放电腔部件内的钝化层是否钝化完成。一种检测装置，用于检测准分子激光器的放电腔部件的钝化程度，包括准分子激光器、测试腔、试样...
- 郭馨江锐王倩周翊赵江山王宇
- 一种线宽压窄模块及准分子激光器
- 本发明公开一种线宽压窄模块及准分子激光器，所述线宽压窄模块包括：棱镜组，所述棱镜组用于对激光的光束进行调整；反射镜，所述反射镜设置于所述棱镜组一端，所述反射镜用于将调整后的光束进行反射；光栅，所述光栅设置于所述棱镜组及所...
- 王倩赵江山郭馨崔慧绒江锐
- 文献传递
- 离子敏感场效应管传感器及其电流模式读出电路
- 本发明实施例公开了一种离子敏感场效应管传感器及其电流模式读出电路。所述读出电路包括基于P型离子敏感场效应管的pH值感应电路、基于金属氧化物半导体场效应管的吉尔伯特增益电路、增益电流源和电流镜电路，P型离子敏感场效应管和金...
- 王倩刘昱卫宝跃张海英
- 一种激光相干长度可调的装置
- 本公开提供一种激光相干长度可调的装置，装置包括：激光器、色散部件和发散角控制部件；所述色散部件设置于所述激光器输出激光的光路上，激光光束在输出之前以第一角度入射到所述色散部件后发生色散，使得出射激光光束的各光谱成分按照顺...
- 范元媛彭锦王倩亓岩韩春蕊颜博霞周密韩哲王延伟崔惠绒
- 一种零件涂层制备装置及零件涂层制备方法、终端装置
- 本发明公开一种零件涂层制备装置及零件涂层制备方法、终端装置，涉及准分子激光器放电腔用涂层制造技术领域，以解决零件被卤素工作气体腐蚀生成有害气体以及放电产生的声波、激波引起放电环境不稳定的问题，从而影响激光器的输出性能的问...
- 郭馨江锐王倩崔惠绒周翊赵江山王宇
- 文献传递
- 一种匀光参数的配置装置及方法、剥离系统及方法
- 本发明公开一种匀光参数的配置装置及方法、剥离系统及方法，涉及激光加工技术领域，以优化能量光束的均匀性，提高工件的剥离质量。匀光参数的配置装置包括，用于容纳匀光物质的透光容器，匀光物质具有丁达尔效应。用于检测从容纳匀光物质...
- 江锐郭馨王倩周翊赵江山王宇
- 文献传递
- 战略性先导科技专项经费管理探讨被引量：1
- 2022年
- 战略性先导科技专项(以下简称“先导专项”)是国家围绕创新驱动发展战略,提升自主创新能力、建设创新型国家的一项战略任务。文章主要分析先导专项经费管理现状,对现阶段先导专项经费管理现状进行详细剖析,并提出加强先导专项经费管理的策略,以期为承研任务单位规范经费使用、进一步提高资金使用效益提供一定的参考。
- 崔惠绒江锐王倩苏国强张蒙蒙
- 关键词：经费管理内控管理
- 离子敏感场效应管传感器及其读出电路
- 本发明实施例公开了一种离子敏感场效应管传感器及其读出电路，所述读出电路包括pH值感应电路，基于MOS晶体管的折叠共源共栅运算放大器电路、电容反馈电路和缓冲级电路，所述MOS晶体管工作于亚阈值区，所述pH值感应电路的输入端...
- 刘昱王倩卫宝跃张海英
- 文献传递
- 我国准分子激光技术发展现状及趋势研究被引量：2
- 2020年
- 准分子激光具有波长短、能量大等特点,在集成电路光刻、材料加工、医学、科研等领域具有重要的应用。与国外先进水平相比,我国高端准分子激光技术仍存在较大差距。本文首先简要介绍了准分子激光的特点和发展历史,然后分析了国内外准分子激光技术及相关典型应用的发展现状及需求,之后提出了我国准分子激光技术发展的主要问题。最后,针对相关问题及需求,建议未来重点在基础共性技术研究(高性能高端深紫外波段元器件设计、制备与性能表征研究,放电动力学等基础理论及验证研究等)、长脉冲、高重频、大能量/功率技术、新兴或潜在应用领域及衍生技术等研究方面继续加大加深研究力度,为我国准分子激光的自主可控发展奠定基础。
- 范元媛周翊郭馨王倩金春水楼祺洪
- 关键词：激光器
- 离子敏感场效应管传感器及其读出电路
- 本发明实施例公开了一种离子敏感场效应管传感器及其读出电路，所述读出电路包括pH值感应电路，基于MOS晶体管的折叠共源共栅运算放大器电路、电容反馈电路和缓冲级电路，所述MOS晶体管工作于亚阈值区，所述pH值感应电路的输入端...
- 刘昱王倩卫宝跃张海英
