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邵靖

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：上海交通大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇软质
  • 2篇图形化
  • 2篇微加工
  • 2篇微制造
  • 2篇光刻
  • 2篇光刻技术
  • 1篇软光刻
  • 1篇微加工技术

机构

  • 2篇上海交通大学

作者

  • 2篇张永强
  • 2篇杨卓青
  • 2篇程萍
  • 2篇丁桂甫
  • 2篇汪红
  • 2篇张丛春
  • 2篇戴旭涵
  • 2篇赵小林
  • 2篇王艳
  • 2篇段力
  • 2篇高均超
  • 2篇李洪美
  • 2篇邵靖
  • 2篇刘宜胜

年份

  • 1篇2019
  • 1篇2015
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
利用软质光刻模板进行曲面薄膜图形化微制造方法
本发明提供了一种利用软质光刻模板进行曲面薄膜图形化微制造方法，属于微加工技术领域。所述技术将腐蚀溶剂涂在软质弹性模的图形表面，然后附着在要刻蚀的薄膜上，与所述弹性模的凸出图形部位接触的所述薄膜表面受到刻蚀，所述薄膜刻蚀结...
段力高均超丁桂甫汪红邵靖刘宜胜李洪美王凤森张永强杨卓青赵小林程萍张丛春王艳戴旭涵
利用软质光刻模板进行曲面薄膜图形化微制造方法
本发明提供了一种利用软质光刻模板进行曲面薄膜图形化微制造方法，属于微加工技术领域。所述技术将腐蚀溶剂涂在软质弹性模的图形表面，然后附着在要刻蚀的薄膜上，与所述弹性模的凸出图形部位接触的所述薄膜表面受到刻蚀，所述薄膜刻蚀结...
段力高均超丁桂甫汪红邵靖刘宜胜李洪美王凤森张永强杨卓青赵小林程萍张丛春王艳戴旭涵
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