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贺学峰

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇微加速度计
  • 2篇温度稳定性
  • 2篇膜片
  • 2篇加速度
  • 2篇加速度计
  • 2篇惯性力
  • 2篇FBAR
  • 1篇可制造性
  • 1篇检测元件

机构

  • 2篇中国工程物理...

作者

  • 2篇何婉婧
  • 2篇李君儒
  • 2篇高杨
  • 2篇黄振华
  • 2篇赵俊武
  • 2篇贺学峰

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2015
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
膜片上FBAR结构的微加速度计
本发明公开了膜片上FBAR结构的微加速度计，包括惯性力敏结构、检测元件和复合薄膜，复合薄膜用于连接惯性力敏结构和检测元件，惯性力敏结构位于复合薄膜的下方，检测元件位于复合薄膜的上方；惯性力敏结构包括Si质量块、Si基座与...
高杨何婉婧李君儒贺学峰蔡洵赵俊武尹汐漾黄振华
膜片上FBAR结构的微加速度计
本发明公开了膜片上FBAR结构的微加速度计，包括惯性力敏结构、检测元件和复合薄膜，复合薄膜用于连接惯性力敏结构和检测元件，惯性力敏结构位于复合薄膜的下方，检测元件位于复合薄膜的上方；惯性力敏结构包括Si质量块、Si基座与...
高杨何婉婧李君儒贺学峰蔡洵赵俊武尹汐漾黄振华
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