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胡海峰
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供职机构:
北京空间飞行器总体设计部
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相关领域:
一般工业技术
电子电信
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合作作者
贺涛
北京空间飞行器总体设计部
徐明明
北京空间飞行器总体设计部
张涛
北京空间飞行器总体设计部
芦姗
北京空间飞行器总体设计部
王颖
北京空间飞行器总体设计部
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作者
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周傲松
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一种基于热氧化工艺的纳米介质层制备方法
本发明一种基于热氧化工艺的纳米介质层制备方法,属于微电子与固体电子学、纳米科学技术领域。利用电子束曝光技术,在基底金属层上打开一个正方形掩膜窗口。利用热氧化方法对掩膜窗口处暴露的基底金属层进行氧化,具体工艺条件为:置于烘...
贺涛
芦姗
胡海峰
韩运忠
周傲松
张涛
王颖
高文军
徐明明
文献传递
一种基于氧等离子体工艺的纳米介质层制备方法
本发明介绍了一种基于氧等离子体工艺的纳米介质层的制备方法;利用电子束曝光技术,在基底金属层薄膜上打开一个正方形掩膜窗口。利用氧等离子体氧化方法对掩膜窗口处暴露的基底金属层薄膜进行氧化,具体工艺条件为:利用氧等离子体,在0...
贺涛
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韩运忠
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一种基于热氧化工艺的纳米介质层制备方法
本发明一种基于热氧化工艺的纳米介质层制备方法,属于微电子与固体电子学、纳米科学技术领域。利用电子束曝光技术,在基底金属层上打开一个正方形掩膜窗口。利用热氧化方法对掩膜窗口处暴露的基底金属层进行氧化,具体工艺条件为:置于烘...
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一种基于氧等离子体工艺的纳米介质层制备方法
本发明介绍了一种基于氧等离子体工艺的纳米介质层的制备方法;利用电子束曝光技术,在基底金属层薄膜上打开一个正方形掩膜窗口。利用氧等离子体氧化方法对掩膜窗口处暴露的基底金属层薄膜进行氧化,具体工艺条件为:利用氧等离子体,在0...
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一种基于磁控溅射工艺的纳米介质层制备方法
一种基于磁控溅射工艺的纳米介质层制备方法,在衬底上旋涂正胶,利用电子束曝光技术,制作一个正方形掩膜窗口。利用磁控溅射镀膜技术在掩膜窗口内,在额定的背底真空条件下,以80~150watt的功率,0~5sccm的氧气流量,3...
张涛
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一种基于隧穿二极管的纳米天线
本发明一种基于隧穿二极管的纳米天线,包括左臂、右臂以及整流器;所述左臂与右臂为镜像结构;左臂与右臂交叉成蝴蝶结形状,左臂与右臂中间夹有整流器,且三者一体成型;所述左臂与右臂的辐射体形状为三角形或扇形或锥形;所述整流器为金...
张涛
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一种基于硅基衬底的纳米整流天线
本发明一种基于硅基衬底的纳米整流天线。所述的整流天线为纳米天线与金属-绝缘体-金属二极管组成的一体化结构,天线的左右臂分别为金属I和金属II,中间为绝缘层。将设计的纳米整流天线分别置于不同的衬底上,通过采用三维电磁场数值...
张涛
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一种用于红外能量转换的纳米天线
本实用新型一种用于红外能量转换的纳米天线包括左臂、右臂以及整流器;所述左臂与右臂为镜像结构;左臂与右臂交叉成蝴蝶结形状,左臂与右臂中间夹有整流器,且三者一体成型;所述左臂与右臂的辐射体形状为三角形或扇形或锥形;所述整流器...
贺涛
王凯
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郭令举
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一种基于磁控溅射工艺的纳米介质层制备方法
一种基于磁控溅射工艺的纳米介质层制备方法,在衬底上旋涂正胶,利用电子束曝光技术,制作一个正方形掩膜窗口。利用磁控溅射镀膜技术在掩膜窗口内,在额定的背底真空条件下,以80~150watt的功率,0~5sccm的氧气流量,3...
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一种基于隧穿二极管的纳米天线
本发明一种基于隧穿二极管的纳米天线,包括左臂、右臂以及整流器;所述左臂与右臂为镜像结构;左臂与右臂交叉成蝴蝶结形状,左臂与右臂中间夹有整流器,且三者一体成型;所述左臂与右臂的辐射体形状为三角形或扇形或锥形;所述整流器为金...
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