蒋春霞
- 作品数：14 被引量：13H指数：2
- 供职机构：上海电机学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺一般工业技术理学更多>>
- 一种Cu互连集成电路高熵合金扩散阻挡层的制备方法
- 本发明是半导体集成电路技术领域，尤其涉及到一种Cu互连集成电路高熵合金扩散阻挡层及其制备方法。一种Cu互连集成电路高熵合金扩散阻挡层，自下而上依次包括Si基体层、高熵合金中间涂层和Cu膜，所述高熵合金中间涂层自下而上依次...
- 李荣斌蒋春霞乔帮威张静尚海龙张如林
- 文献传递
- 一种真空电子束焊接台
- 本发明公开了一种真空电子束焊接台，属于焊接工艺设备技术领域。焊接台包括台座、竖向约束装置、横向约束装置、防弯夹具；台座上设有左右对称设置的焊件放置台；竖向约束装置包括旋转柱、滑动支架、压杆；横向约束装置包括推板及两根推杆...
- 陈云霞芦凤桂陈晨曦冯菲玥蒋春霞邓文智
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- 一种气体响应性智能超双疏油水分离膜材料及其制备方法和应用
- 本发明公开了一种气体响应性智能超双疏油水分离膜材料及其制备方法和应用，制备方法包括首先通过二氧化硅纳米粒子模板法制备亲水性π‑共轭聚合物纳米粒子；然后通过喷涂或层层自组装方法将带负电的聚丙烯酸聚电解质与带正电的亲水性π‑...
- 徐连仪李荣斌韦东来杨淼森蒋春霞李金龙唐欣妮张思琪赵晨曦田国新李聪
- 一种真空电子束焊接台
- 本发明公开了一种真空电子束焊接台，属于焊接工艺设备技术领域。焊接台包括台座、竖向约束装置、横向约束装置、防弯夹具；台座上设有左右对称设置的焊件放置台；竖向约束装置包括旋转柱、滑动支架、压杆；横向约束装置包括推板及两根推杆...
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- 不同氮气流量AlCrTaTiZr高熵合金氮化物薄膜扩散阻挡性能研究被引量：7
- 2019年
- 目的提高铜互连扩散阻挡层的失效温度。方法采用磁控溅射方法制备了不同氮气流量下的Cu/AlCrTaTiZrNx/Si高熵合金薄膜体系,使用真空退火炉对Cu/AlCrTaTiZrNx/Si高熵合金薄膜体系分别进行600、700、800、900℃的真空退火,并利用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射仪(XRD)以及透射电子显微镜(TEM)等表征手段对薄膜的组织结构、三维形貌等进行表征。结果不通入氮气时,高熵合金薄膜为非晶状态。随着氮气流量的增加,薄膜的结晶性越来越好,薄膜为FCC结构。随着氮气流量的增加,高熵合金薄膜表面粗糙度呈现下降的趋势,在氮气流量为20%时,高熵合金氮化物薄膜的致密性最好。Cu/AlCrTaTiZrN20/Si薄膜体系的扩散阻挡层结构主要为非晶包裹的纳米晶结构。薄膜在800℃退火后,没有Cu-Si化合物存在,薄膜方阻为0.0937Ω/□;在900℃退火后,Cu/AlCrTaTiZrN20/Si薄膜体系中Si基体部分出现不规则五边形状的大颗晶粒Cu-Si化合物。结论AlCrTaTiZrNx高熵合金氮化物薄膜的扩散阻挡性能随着氮气流量的增加,呈现先增加后降低的趋势。在氮气流量为20%时,高熵合金氮化物薄膜的扩散阻挡性能最优,800℃高温退火后仍发挥阻挡作用。
- 蒋春霞蒋春霞王馨李荣斌居健
- 关键词：高熵合金退火热稳定性磁控溅射
- 022Cr钢的热变形行为及热加工图被引量：5
- 2020年
- 用Gleeble 3180热模拟试验机对022Cr钢的热变形行为进行研究,揭示了变形抗力与变形程度、变形温度和应变速率的关系。在950~1200℃温度范围和应变速率为0.001~5 s^-1下进行热压缩,并利用动态材料模型(DMM)建立了022Cr钢热变形的工艺图。结果表明,随着变形温度的升高和应变速率的降低,022Cr钢的流动应力降低。根据流动应力曲线数据计算其变形激活能为381.615 kJ/mol。当应变不小于0.5时,022Cr钢热加工的最佳变形条件有两个区域,第一个区域在温度范围1100~1200℃,应变速率范围0.001~0.01 s^-1内,第二个区域在温度范围1130~1180℃,应变速率范围1~5 s^-1内,其功耗效率都能达到0.4以上。
- 李荣斌李荣斌蒋春霞张如林蒋春霞
- 关键词：热压缩本构方程热加工图
- 14Cr17Ni2钢的锻造工艺参数的优化方法
- 本发明提供了一种14Cr17Ni2钢的锻造工艺参数的优化方法，包括：根据热压缩模拟实验获得的流变数据绘制加工硬化率曲线图，研究实验钢动态再结晶临界应变，直接获得变形工艺条件对临界应变的影响规律，从而更快、更准地得出始锻温...
- 李荣斌蒋春霞张静尚海龙张如林
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- 高熵合金、高熵合金涂层及其在轴承滚动面的镀制方法
- 一种高熵合金，所述高熵合金为Al<Sub>0.3</Sub>CrFe<Sub>1.5</Sub>MnNi<Sub>0.5</Sub>。一种高熵合金所制备的高熵合金涂层，所述高熵合金涂层为Al<Sub>0.3</Sub>C...
- 陈梦蝶蒋春霞李荣斌
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- 氮气流量对AlCrTaTiZr高熵合金氮化物薄膜的膜基结合力和扩散阻挡性能影响
- 本文为研究不同氮气流量对 AlCrTaTiZr 高熵合金氮化物薄膜的膜基结合力和扩散阻挡性能的影响。采用磁控溅射方法在Si 基体上制备了不同氮气流量的AlCrTaTiZrNX(HEANX)高熵合金氮化物薄膜和不同氮气流量...
- 蒋春霞李荣斌乔帮威
- 关键词：高熵合金扩散阻挡层热稳定性
- 一种Cu互连集成电路高熵合金扩散阻挡层及其制备方法
- 本发明是半导体集成电路技术领域，尤其涉及到一种Cu互连集成电路高熵合金扩散阻挡层及其制备方法。一种Cu互连集成电路高熵合金扩散阻挡层，自下而上依次包括Si基体层、高熵合金中间涂层和Cu膜，所述高熵合金中间涂层自下而上依次...
- 李荣斌蒋春霞乔帮威张静尚海龙张如林
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