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陈宗泽
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重庆大学
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一种具有部分复合埋层的SOI耐压结构
本发明公开了一种具有部分复合埋层的SOI耐压结构,包括P/N衬底1、设置在P/N衬底上的部分复合埋氧层4和设置在部分复合埋氧层上的有源顶硅层2,所述部分复合埋氧层4包括并列设置的埋氧层3和复合埋层,所述复合埋层包括设置在...
胡盛东
陈银晖
金晶晶
周峰
陈宗泽
黄野
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