张文勇
- 作品数：4 被引量：13H指数：2
- 供职机构：重庆大学更多>>
- 发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺一般工业技术电子电信更多>>
- 一种类金刚石厚膜及其制备方法及一种工件
- 本发明提供了一种类金刚石厚膜，包括：结合层；复合于结合层的过渡层；复合于过渡层的类金刚石膜层；所述类金刚石膜层由sp<Sup>3</Sup>键含量不同的类金刚石子膜叠加而成。本发明通过将sp<Sup>3</Sup>键含量...
- 孙德恩张文勇陈美容黄佳木
- 文献传递
- 调制周期对CrAlN/ZrN纳米多层膜韧性的影响被引量：10
- 2016年
- 目的研究调制周期对纳米多层膜性能的影响。方法采用磁控溅射方法制备了CrAlN与ZrN的固定厚度比为2.6,不同调制周期(Λ为6,8,10,20 nm)的CrAlN/ZrN纳米多层膜。利用场发射扫描电镜(FESEM)表征薄膜的形貌、结构。用Dektak150型台阶仪测薄膜表面粗糙度。用Agilent Technologies G200纳米压痕仪检测涂层的硬度和弹性模量。用划痕仪测薄膜/基材的结合力,同时,引入抗裂纹扩展系数(CPR)表征纳米多层膜的韧性。结果 CrAlN/ZrN纳米多层膜断面皆为穿晶柱状结构,调制周期为20 nm时,多层膜层与层之间的界面清晰;多层膜表面呈致密的花椰菜状,厚度均约为2μm。调制周期为8 nm时,硬度为20.4 GPa,进一步增大调制周期,硬度下降。调制周期为8 nm的多层膜临界载荷L_(c2)为18 N,CPR值为73.2,L_(c2)与CPR值均高于其他调制周期的多层膜。在临界载荷L_(c2)处,裂纹扩展导致薄膜发生了严重的片状剥落,露出了亮白的热轧钢基底,薄膜失去了保护作用。结论实验表明,在多层膜厚度、调制比不变的条件下,改变调制周期能够改变多层膜的韧性。随着调制周期的增大,韧性呈先上升、后下降的趋势。调制周期为8 nm时,纳米多层膜的硬度最高,韧性最好,综合性能良好。
- 张文勇孙德恩裴晨蕊张世宏黄佳木
- 关键词：磁控溅射调制周期韧性
- ZrN基纳米多层膜的制备及其性能研究
- 薄膜技术已广泛应用于加工制造、半导体、表面防护、光学器件、装饰等行业。在制造行业，薄膜技术的应用能大幅提高切削刀具的综合性能，使切削工具的使用寿命延长2~3倍，提高生产效率。相比TiN薄膜，ZrN薄膜硬度更高，更耐磨。Z...
- 张文勇
- 关键词：磁控溅射纳米多层膜
- 一种类金刚石厚膜及其制备方法及一种工件
- 本发明提供了一种类金刚石厚膜，包括：结合层；复合于结合层的过渡层；复合于过渡层的类金刚石膜层；所述类金刚石膜层由sp<Sup>3</Sup>键含量不同的类金刚石子膜叠加而成。本发明通过将sp<Sup>3</Sup>键含量...
- 孙德恩张文勇陈美容黄佳木
- 文献传递
