刘新
- 作品数：5 被引量：1H指数：1
- 供职机构：广东工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金广州市科技计划项目更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 一种基于仿射变换单应矩阵的投影套刻对位系统及其对准方法
- 本发明涉及一种利用仿射变换单应矩阵实现的投影光刻对位系统及其对准方法。本发明的硬件系统部分包括紫外准分子激光器(1)、照明系统(2)、平移台(3)、掩模板(4)、投影物镜组(5)、硅板(6)、对焦与扫描曝光装置(7)、旋...
- 雷亮刘新刘子强周金运关继业颜润明
- 文献传递
- 光学投影式光刻系统中套刻对准方法研究
- 随着信息化产业的快速发展，光刻技术已经成为制约超大规模集成电路以及微光学元器件制作的核心技术。光学曝光光刻技术经历了接触式光刻、接近式光刻、光学投影式光刻及激光干涉光刻等典型光刻技术进程。由于光学投影式光刻在技术成熟性以...
- 刘新
- 关键词：单应矩阵特征点匹配
- 文献传递
- 亚10μm线宽的投影光刻物镜设计及其成像性能的实验测定
- 2014年
- 采用Zemax软件设计出6镜片、数值孔径为0.06、2倍缩小、以405nm半导体激光器为光源、分辨精度达5μm、视场12mm×12mm内波像差小于1/4波长、畸变小于0.005%的双远心投影光刻物镜的设计方法。将设计的物镜实物化,并对其光学传递函数(MTF)作精确的实验测定,利用所提出的MTF标准实验测量法,得到该投影物镜的成像性能达亚10μm线宽。
- 雷亮李浪林袁炜刘新周金运
- 关键词：光刻投影物镜光学传递函数MTF
- 实现实时套刻对位的仿射变换最优匹配参量计算公式
- 2016年
- 本文讨论了对一般目标图像的对准方法,采用仿射变换模型,舍弃借助迭代法搜索图像最佳配准参数的传统方式,使用推导公式一步计算图像的平移旋转参数。该公式运用仿射变换单应矩阵最小二乘运算模型推导所得,首次得到可单步计算目标图像与待对准图像对位参数的计算算法,大大提高运算效率,实现了实时对位的功能,最后通过实验验证算法的有效性。
- 刘子强雷亮刘新王崎颜润明周金运
- 关键词：图像对准仿射变换平移单应矩阵
- 一种基于仿射变换单应矩阵的投影套刻对位系统及其对准方法
- 本发明涉及一种利用仿射变换单应矩阵实现的投影光刻对位系统及其对准方法。本发明的硬件系统部分包括紫外准分子激光器(1)、照明系统(2)、平移台(3)、掩模板(4)、投影物镜组(5)、硅板(6)、对焦与扫描曝光装置(7)、旋...
- 雷亮刘新刘子强周金运关继业颜润明
