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司禹

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 3篇湿法刻蚀
  • 3篇刻蚀
  • 2篇热风
  • 2篇热风烘干
  • 2篇硅片
  • 2篇硅片表面
  • 2篇风能
  • 2篇出风口
  • 1篇湿法
  • 1篇刻蚀设备
  • 1篇控制系统
  • 1篇CANOPE...

机构

  • 3篇北京七星华创...

作者

  • 3篇司禹
  • 2篇张琳
  • 2篇王晓飞
  • 2篇赵庆峰
  • 1篇王晓飞
  • 1篇李博

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2016
  • 2篇2015
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种电池硅片的在线风刀吹干装置
本实用新型公开了一种电池硅片的在线风刀吹干装置，用于对制绒或湿法刻蚀后电池硅片进行干燥，包括相对设置的上、下风刀，风刀出风口设计为三排间错排列具有一定距离的风孔形式，中间一排风孔倾斜设置，当硅片在滚轮传动下经过风刀时，中...
王晓飞司禹张琳朱旺平赵庆峰
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在线湿法刻蚀设备的控制系统
2015年
根据在线湿法刻蚀设备的工艺要求及特点,介绍了控制系统的构成,CANopen网络控制方式,以及同步传送、自动补配液、自动清洗等功能,从而保证批量在线生产的工艺效果。
刘运洋李博王晓飞司禹
关键词：控制系统CANOPEN
一种在线风刀吹干装置
本发明公开了一种在线风刀吹干装置，用于对制绒或湿法刻蚀后电池硅片进行干燥，包括相对设置的上、下风刀，风刀出风口设计为三排间错排列具有一定距离的风孔形式，中间一排风孔倾斜设置，当硅片在滚轮传动下经过风刀时，中间一排风孔吹出...
王晓飞司禹张琳朱旺平赵庆峰
文献传递
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