张金涛
- 作品数：10 被引量：4H指数：1
- 供职机构：山东科技大学更多>>
- 发文基金：'泰山学者'建设工程专项更多>>
- 相关领域：电子电信石油与天然气工程更多>>
- 热压印聚合物成型体脱模过程中接触脱离分析被引量：2
- 2015年
- 热压印光刻技术中,聚合物成型体在脱模阶段的变形破损关系到压印质量的高低。为了提高热压印质量,研究脱模过程中模板和聚合物成型体之间的接触力变化至关重要。采用理论分析、模型试验和有限元法数值模拟分析热压印脱模中的接触脱离过程,得到不同脱模位移的等效应力云图和脱模接触力变化曲线。结果显示:脱模过程中聚合物微结构的根部和顶部边缘有应力集中和变形现象,通过计算聚合物根部节点和顶部节点的接触力大小,得出接触力峰值是聚合物出现应力集中和变形的原因。实际脱模操作时应加强对聚合物成型体根部和顶部边缘的保护,通过增涂低表面能的抗粘剂降低模板和聚合物成型体间的脱模接触力,达到减少压印缺陷、提高压印质量的目的。
- 王清张睿张金涛郑旭马立俊
- 关键词：热压印脱模应力有限元法
- 一种腔式结构的纳米压印模板及其压印成型方法
- 本发明公开了一种腔式结构的纳米压印模板及其压印成型方法，其腔式结构的纳米压印模板为一体式结构，包括焊接在一起的上模板和下模板两部分；其中，上模板均匀设置有若干数量通透阶梯孔，下模板上均匀设置有若干数量沟槽，沟槽的两端分别...
- 王清张金涛张睿郑旭马立俊张星远杜文全
- 文献传递
- 热压印脱模工艺中摩擦系数影响的研究被引量：1
- 2016年
- 压印胶层纳米结构在热压印脱模工艺中的变形关系到纳米器件质量的高低。为了提高纳米器件的质量,研究脱模过程中模板和压印胶之间的接触特性至关重要。采用模型优化、数值模拟和理论分析相结合的方法研究摩擦系数对胶层纳米结构受力和变形的影响,得到摩擦系数增大时von-Mises应力云图和胶层纳米结构顶端变形曲线。分析应力云图可得胶层纳米结构的最大应力和变形在脱模初期随摩擦系数增大而增大,在脱模后期随摩擦系数增大而减小,并从压印胶受力角度对胶层纳米结构顶端变形进行解释。对比顶端变形曲线可得Ni-PTFE模板最佳摩擦系数为0.20,Ni-PTFE模板最优化PTFE含量为15g/L。通过最佳接触特性对模板进行优化可以减少胶层纳米结构变形,提高纳米器件质量。
- 张睿王清郑旭张金涛马立俊张艳菊张星远刘华伟
- 关键词：热压印脱模数值模拟
- 纳米压印技术脱模过程机理分析被引量：1
- 2016年
- 为了减少脱模导致的产品缺陷,对纳米压印技术中的脱模机理进行研究。基于界面力学的接触理论提出了模板和聚合物之间作用力的理论模型,利用ANSYS软件模拟模板和聚合物的接触分离过程。采用断裂力学能量平衡理论,通过脱模力和脱模位移之间的关系分析脱模规律和机理。研究结果表明,脱模过程中不同位置接触面上的作用力存在较大差异;高宽比为2和1.5时,脱模力曲线有两个峰值,高宽比为1和0.5时,脱模力曲线有一个峰值;残余层厚度增加,与同一脱模力相对应的脱模位移会相应增大,但不影响最大脱模力的数值。
- 马立俊王清张睿张金涛郑旭
- 关键词：黏结力脱模力
- 一种纳米压印技术过程中的脱模方法
- <b /><b />本发明公开了一种纳米压印技术过程中的脱模方法，先将纳米压印胶材料涂覆于衬底上，形成压印胶层；然后将模板压入压印胶层；待压印胶层固化定型后，在模板上部利用超声波发射装置向模板发射...
- 王清马立俊刘华伟张睿张金涛郑旭
- 文献传递
- 定面射孔井应力分布及井筒破裂研究
- 定面射孔作为低渗透油气田开采中的一项重要工艺技术近年得到了快速发展，深入研究定面射孔参数影响水力裂缝扩展的力学机制对完善该工艺技术具有重要的理论与工程价值。受储层岩石特性、地应力分布、井筒结构、天然裂缝及流体等因素影响，...
- 张金涛
- 关键词：油气田开采应力分布井筒破裂射孔参数
- 一种用于纳米压印过程中的改进装置
- 本实用新型公开了一种用于纳米压印过程中的改进装置，包括曝光光源、观测光源及观测孔，所述观测光源安装在紫外曝光装置中，所述曝光光源采用LED紫外灯，所述观测孔被观测光源与曝光光源环绕。与现有技术相比，本实用新型使压印过程的...
- 王清张金涛马立俊刘华伟张睿郑旭张艳菊张星远杜文全郑通邢晓婷
- 文献传递
- 一种纳米压印方法
- 本发明公开了一种纳米压印方法，先将纳米压印胶层材料均匀旋涂于衬底上，形成压印胶层；然后将该衬底放置在超声波发射装置上，并采用上部装有超声波发射装置的模板进行压印；压印同时，模板上部的超声波发射装置和衬底下部的超声波发射装...
- 王清马立俊刘华伟张睿张金涛郑旭
- 文献传递
- 一种腔式结构的纳米压印模板及其压印成型方法
- 本发明公开了一种腔式结构的纳米压印模板及其压印成型方法，其腔式结构的纳米压印模板为一体式结构，包括焊接在一起的上模板和下模板两部分；其中，上模板均匀设置有若干数量通透阶梯孔，下模板上均匀设置有若干数量沟槽，沟槽的两端分别...
- 王清张金涛张睿郑旭马立俊张星远杜文全
- 文献传递
- 一种纳米压印技术中的辅助脱模装置
- 本实用新型公开了一种纳米压印技术中的辅助脱模装置，其装置包括支撑架体、升降触停装置、超声波发生器A、超声波发生器B、承台和底座，所述升降触停装置顶部和底部分别与支撑架体和超声波发生器A相连，所述承台嵌与底座的中部位置，所...
- 王清马立俊刘华伟张睿张金涛郑旭
- 文献传递
