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赵艺文

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：华中科技大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇气体压力
  • 2篇气压
  • 2篇温控
  • 2篇激光
  • 2篇激光光源
  • 2篇光源
  • 2篇传输通道
  • 1篇腔体
  • 1篇自抗扰
  • 1篇自抗扰控制
  • 1篇温度
  • 1篇温度控制
  • 1篇温度控制系统
  • 1篇节流
  • 1篇节流阀
  • 1篇浸液
  • 1篇控制系统
  • 1篇串级
  • 1篇串级控制

机构

  • 3篇华中科技大学

作者

  • 3篇赵艺文
  • 2篇李小平
  • 2篇石文中

年份

  • 2篇2017
  • 1篇2015
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
激光光源传输腔室的温控与净化控制方法和系统
本发明公开了一种激光光源的传输腔室内的温控与净化控制系统，包括：设置在光路传输通道的模块腔体之前的二级调压阀，用于调节待进入模块腔体的通道中的气体压力；设置在光路传输通道的气体净化装置和模块腔体之间的毛细管，用于保证光路...
李小平纪辉强石文中赵艺文
激光光源传输腔室的温控与净化控制方法和系统
本发明公开了一种激光光源的传输腔室内的温控与净化控制系统，包括：设置在光路传输通道的模块腔体之前的二级调压阀，用于调节待进入模块腔体的通道中的气体压力；设置在光路传输通道的气体净化装置和模块腔体之间的毛细管，用于保证光路...
李小平纪辉强石文中赵艺文
文献传递
基于自抗扰控制的浸液高精度温度控制技术研究
作为投影物镜光学系统最后一片非光学镜片，浸没流体起到增大折射率来提高光刻的分辨率的作用。浸没式光刻机通过浸没头来实现浸没流体的维持及密封功能，浸没流场的温度稳定性是影响分辨率精度的主要因素之一，为了实现浸液的高精度温度控...
赵艺文
关键词：温度控制系统串级控制
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