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刘骏文

作品数：2 被引量：3H指数：1
供职机构：苏州大学电子信息学院更多>>
相关领域：自动化与计算机技术动力工程及工程热物理更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇动力工程及工...

主题

  • 2篇BIMORP...
  • 1篇电热
  • 1篇电热驱动
  • 1篇执行器
  • 1篇驱动控制
  • 1篇热驱动
  • 1篇微机电系统
  • 1篇微执行器
  • 1篇机电系统
  • 1篇计算机
  • 1篇计算机技术
  • 1篇电系统

机构

  • 2篇苏州大学
  • 1篇佛罗里达大学
  • 1篇无锡微奥科技...

作者

  • 2篇刘骏文
  • 1篇徐大诚
  • 1篇谢会开

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 2篇2015
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
Bimorph结构MEMS微镜热驱动性能分析研究
微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems，MEMS）是融合机、光、电、磁等领域技术为一体，将常规集成电路工艺与微机械加工独有特殊工艺相结合的一种前沿技术。其具有能耗低、、体积小、集成度...
刘骏文
关键词：微机电系统驱动控制计算机技术
文献传递
电热驱动Bimorph微执行器对流系数估算方法研究被引量：2
2015年
随着电热驱动MEMS器件尺寸进一步缩小,传统热对流系数的取值已无法满足微系统分析建模需求。针对电热型Bimorph结构的MEMS微镜驱动器,通过分析其温度分布,并以其平均温度为参考指标建立简单热阻和对流热阻分段模型,推算出微尺度下精确的对流系数,提高了微执行器设计模型的驱动性能。经理论计算和实验测试验证,对流系数值的误差在8.1%以内,满足实际设计需求,验证了该方法的合理性和可行性。
刘骏文徐大诚陈巧丁金玲谢会开
关键词：微执行器
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共1页<1>
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