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杨靖

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海技术物理研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

主题

  • 3篇态密度
  • 3篇退火
  • 3篇外延片
  • 3篇膜结构
  • 3篇界面态
  • 3篇界面态密度
  • 3篇高温退火
  • 2篇探测器
  • 2篇铟镓砷
  • 1篇钝化层
  • 1篇绝缘
  • 1篇绝缘性
  • 1篇绝缘性能

机构

  • 3篇中国科学院

作者

  • 3篇汤乃云
  • 3篇龚海梅
  • 3篇李雪
  • 3篇唐恒敬
  • 3篇邵秀梅
  • 3篇杨靖
  • 3篇石铭

年份

  • 1篇2016
  • 2篇2015
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种复合钝化膜结构的延伸波长铟镓砷探测器及制备方法
本发明公开了一种复合钝化膜结构的延伸波长铟镓砷探测器及制备方法，具体包括：在外延片上刻蚀形成p型微台面；在微台面局部区域上制备P电极区，其上置有覆盖部分微台面的电极互连区，并从微台面上延伸至微台面下；在微台面的一侧有刻蚀...
唐恒敬邵秀梅李雪石铭杨靖汤乃云龚海梅
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一种复合钝化膜结构的延伸波长铟镓砷探测器及制备方法
本发明公开了一种复合钝化膜结构的延伸波长铟镓砷探测器及制备方法，具体包括：在外延片上刻蚀形成p型微台面；在微台面局部区域上制备P电极区，其上置有覆盖部分微台面的电极互连区，并从微台面上延伸至微台面下；在微台面的一侧有刻蚀...
唐恒敬邵秀梅李雪石铭杨靖汤乃云龚海梅
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一种复合钝化膜结构的延伸波长铟镓砷探测器
本专利公开了一种复合钝化膜结构的延伸波长铟镓砷探测器，具体包括：在外延片上刻蚀形成p型微台面；在微台面局部区域上制备P电极区，其上置有覆盖部分微台面的电极互连区，并从微台面上延伸至微台面下；在微台面的一侧有刻蚀至n型缓冲...
唐恒敬邵秀梅李雪石铭杨靖汤乃云龚海梅
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