张华芳
- 作品数：5 被引量：5H指数：2
- 供职机构：中航工业北京航空制造工程研究所更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学金属学及工艺更多>>
- 类金刚石膜Ti,Zr掺杂对DLC性能的影响被引量：2
- 2009年
- 主要针对类金刚石膜存在的内应力大、热稳定性差等缺点,通过反应磁控溅射技术制备了掺杂Ti,Zr金属元素的DLC薄膜,将掺杂Ti,Zr金属元素的DLC薄膜与未掺杂DLC薄膜进行了比较,结果表明掺杂金属的DLC膜能够明显降低薄膜内应力,提高薄膜热稳定性,对于含氢DLC膜,金属的掺杂还提高了薄膜的硬度,但掺杂后的摩擦系数变大。
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- 关键词：DLC膜类金刚石PSII
- 纳米复合膜的制备、发展与应用
- 电子束物理气相沉积是采用电子枪发射电子，然后用电子轰击加热要沉积的靶材，使其蒸发沉积到工件上。该方法具有沉积速率高，制备的薄膜不易脱落的优点，适用于工业化大规模生产，特别是制备的纳米级多层膜具有较好的耐热性能。本文主要叙...
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- 关键词：纳米复合膜纳米材料电子束物理气相沉积
- 文献传递
- 改善类金刚石膜性能的方法研究
- 针对类金刚石膜存在的内应力大、热稳定性差等缺点,提出了相应的解决方法,并通过反应磁控溅射技术制备了掺杂Ti、Zr金属元素的DLC薄膜,将掺杂DLC薄膜与未掺杂DLC薄膜进行了比较,结果表明掺杂金属的DLC膜能够明显降低薄...
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- 文献传递
- Al离子注入对SiC-C/SiC复合材料抗氧化性能影响研究被引量：3
- 2009年
- 用金属真空阴极弧(MEVVA)离子源对SiC-C/SiC复合材料进行Al离子注入来改善其抗氧化性能。通过俄歇电子能谱和扫描电镜分别对复合材料的Al离子浓度分布及表面形貌进行了表征,并在1300℃的空气中进行了氧化实验,结果表明Al离子注入能够有效改善复合材料的抗氧化性能而不影响它的力学性能。
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- 改善类金刚石膜性能的方法研究
- 针对类金刚石膜存在的内应力大、热稳定性差等缺点,提出了相应的解决方法,并通过反应磁控溅射技术制备了掺杂Ti、Zr金属元素的DLC薄膜,将掺杂DLC薄膜与未掺杂DLC薄膜进行了比较,结果表明掺杂金属的DLC膜能够明显降低薄...
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- 关键词：类金刚石薄膜热稳定性金属掺杂磁控溅射
- 文献传递
