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陈月云

作品数：2 被引量：8H指数：1
供职机构：海泰超导通讯科技（天津）有限公司更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇掩膜
  • 1篇掩膜版
  • 1篇曝光机
  • 1篇可调节
  • 1篇机座
  • 1篇尺寸
  • 1篇尺寸大小

机构

  • 1篇海泰超导通讯...

作者

  • 1篇季来运
  • 1篇陈勤文
  • 1篇陈月云

年份

  • 1篇2004
共 2 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
黄光微影设备曝光机之可调节型掩膜版吸附台
一种黄光微影设备曝光机之可调节型掩膜版吸附台，包括机座、中心工作台、中心工作台角度调整机构三部分，其特征在于在中心工作台上包括掩膜版调整定位机构。本实用新型的优越性在于：本案可调节型掩膜版吸附台结构充分考虑了掩膜版吸附台...
钟福来赵艳岐季来运陈勤文陈月云
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