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田新

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：江苏中能硅业科技发展有限公司更多>>
相关领域：化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文专利

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 4篇多晶
  • 4篇多晶硅
  • 4篇三氯氢硅
  • 4篇停炉
  • 2篇形貌
  • 2篇氢气
  • 2篇尾气
  • 2篇尾气处理
  • 2篇列管
  • 2篇列管换热器
  • 2篇换热
  • 2篇换热器
  • 2篇硅
  • 1篇原料气
  • 1篇混合气

机构

  • 4篇江苏中能硅业...

作者

  • 4篇陈明元
  • 4篇田新
  • 4篇梁强
  • 2篇沈力

年份

  • 2篇2011
  • 2篇2010
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
一种多晶硅硅棒的生产方法
本发明公开了一种多晶硅硅棒的生产方法：硅芯表面温度1100～1250℃时，通入氢气和三氯氢硅反应30～45h；当硅芯生长到直径50mm时，停止电流，增加氢气流量，继续反应3～10h；待硅棒表面温度降至1000～1050℃...
田新梁强陈明元
文献传递
一种高效的多晶硅生产方法及装置
本发明公开了一种高效的多晶硅生产方法，三氯氢硅与氢气按1∶2～15的体积比组成的原料混合气先进入列管换热器加热，再进入板式换热器换热，然后再进入多晶硅还原反应器反应，维持原料气在还原反应器的进气温度为200～500℃；列...
田新陈明元梁强沈力
一种高效的多晶硅生产方法
本发明公开了一种高效的多晶硅生产方法，三氯氢硅与氢气按1∶2～15的体积比组成的原料混合气先进入列管换热器加热，再进入板式换热器换热，然后再进入多晶硅还原反应器反应，维持原料混合气在还原反应器的进气温度为200～350℃...
田新陈明元梁强沈力
文献传递
一种多晶硅硅棒的生产方法
本发明公开了一种多晶硅硅棒的生产方法：硅芯表面温度1100～1250℃时，通入氢气和三氯氢硅反应30～45h；当硅芯生长到直径50mm时，停止电流，增加氢气流量，继续反应3～10h；待硅棒表面温度降至1000～1050℃...
田新梁强陈明元
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