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张家欢

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：北京京东方光电科技有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇刻蚀
  • 1篇刻蚀技术
  • 1篇刻蚀设备
  • 1篇刻蚀液
  • 1篇测距
  • 1篇测距装置
  • 1篇传感
  • 1篇传感装置

机构

  • 1篇北京京东方光...

作者

  • 1篇孙文昌
  • 1篇张家欢

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
刻蚀罐及刻蚀设备
本实用新型公开了一种刻蚀罐及刻蚀设备，涉及半导体器件刻蚀技术，解决了现有液位传感装置在检测刻蚀液的液位高度时存在的寿命短及降低半导体器件生产效率的问题。本实用新型依据连通原理在罐体侧面设置液位传感装置，并在连通管的一端设...
孙文昌靖瑞宽张家欢
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