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孙妍

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

主题

  • 2篇电路
  • 2篇电路制造
  • 2篇立式炉
  • 2篇集成电路
  • 2篇集成电路制造
  • 2篇硅片
  • 1篇电机
  • 1篇氧化炉
  • 1篇直接驱动
  • 1篇区长
  • 1篇绕制
  • 1篇转盘
  • 1篇转子
  • 1篇转子电机
  • 1篇外转子
  • 1篇外转子电机
  • 1篇离心风机
  • 1篇炉体
  • 1篇炉子
  • 1篇高效过滤器

机构

  • 3篇北京七星华创...

作者

  • 3篇陈江荣
  • 3篇钟华
  • 3篇孙妍

年份

  • 3篇2004
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
立式加热炉的专用炉体
本实用新型公开了一种立式加热炉的专用炉体，该炉体用于集成电路制造过程中对硅片进行加热、扩散、氧化处理。它包括加热部分、保温部分、冷却部分和固定部分，加热部分由加热器组成。整个炉体垂直地面放置，上端用炉体上端盖封闭，下端有...
钟华孙妍杨进维陈江荣
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立式炉的净化装置
本实用新型公开了一种立式炉的净化装置，是在集成电路制造的前道工序中，用于立式扩散氧化炉上净化硅片的装置。它包括炉体机箱、可调速离心风机、进气箱、过滤器，回气箱。风机将高纯氮气鼓入进气箱，经高效过滤器过滤微小杂质后对需要净...
钟华孙妍杨进维陈江荣
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立式炉储片台
本实用新型公开了一种立式炉储片台，包括基座、直接驱动电机和转盘。直接驱动电机为外转子电机，安装在基座上部。转盘安装在直接驱动电机顶部。转盘包括上下两层，每层外圈固定6个片盒固定台。直接驱动电机可以带动转盘转动任一角度，旋...
钟华孙妍杨进维陈江荣
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