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文献类型

  • 7篇中文专利

主题

  • 4篇半导体
  • 4篇报警
  • 4篇报警处理
  • 4篇报警事件
  • 2篇配置方法
  • 2篇组别
  • 2篇机械手
  • 2篇半导体工艺
  • 2篇报警监控
  • 2篇成功率
  • 2篇处理工艺
  • 1篇数据交互
  • 1篇数据库
  • 1篇通讯模块
  • 1篇通讯信息
  • 1篇同类型
  • 1篇桥接
  • 1篇函数
  • 1篇分布式
  • 1篇分布式管理

机构

  • 7篇北京七星华创...

作者

  • 7篇王亚宁
  • 6篇钟结实
  • 5篇张立超
  • 4篇刘建涛
  • 2篇郑思远

年份

  • 3篇2016
  • 4篇2014
7 条 记 录,以下是 1-7
排序方式:
桥接通讯模块及方法
本发明公开了一种桥接通讯模块,包括配置子模块和通讯子模块。其中,配置子模块存储配置文件,该配置文件记录用于在分布式管理系统和桥接通讯模块之间建立通讯的第一通讯信息和用于在设备管理系统和桥接通讯模块之间建立通讯的第二通讯信...
魏靖南黄扬君张立超王亚宁
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晶盒仓储柜搁架的配置方法
本发明公开了一种晶盒仓储柜搁架的配置方法,包括以下步骤:步骤S1、检测单元获取晶盒类型,检测单元将信号反馈至控制单元;步骤S2、控制单元判断仓储柜搁架上同类型的晶盒位是否已存满;步骤S3、控制单元发出命令控制机械手取放晶...
钟结实黄扬君刘建涛王亚宁
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一种用于半导体加工设备的报警集中处理方法
一种用于半导体加工设备的报警集中处理方法,该方法包括:采用数据库设置并存储所有报警及其属性,其中,所述属性包括报警编号属性、报警名称属性、报警级别属性、报警的限制属性、报警处理方式属性、PLC报警的通道地址、报警所处被监...
王亚宁郑思远钟结实张立超
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晶盒仓储柜搁架的配置方法
本发明公开了一种晶盒仓储柜搁架的配置方法,包括以下步骤:步骤S1、检测单元获取晶盒类型,检测单元将信号反馈至控制单元;步骤S2、控制单元判断仓储柜搁架上同类型的晶盒位是否已存满;步骤S3、控制单元发出命令控制机械手取放晶...
钟结实黄扬君刘建涛王亚宁
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一种用于半导体加工设备的报警集中处理方法
一种用于半导体加工设备的报警集中处理方法,该方法包括:采用数据库设置并存储所有报警及其属性,其中,所述属性包括报警编号属性、报警名称属性、报警级别属性、报警的限制属性、报警处理方式属性、PLC报警的通道地址、报警所处被监...
王亚宁郑思远钟结实张立超
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半导体工艺的报警处理方法
本发明公开了一种半导体工艺的报警处理方法,用于对半导体处理工艺的各工艺步骤所产生的不同报警事件进行相应的处理,所述报警处理方法包括对于每一个所述报警事件根据不同的所述工艺步骤设定对应的组别;其中,不同所述工艺步骤中,相同...
张立超刘建涛钟结实王亚宁
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半导体工艺的报警处理方法
本发明公开了一种半导体工艺的报警处理方法,用于对半导体处理工艺的各工艺步骤所产生的不同报警事件进行相应的处理,所述报警处理方法包括对于每一个所述报警事件根据不同的所述工艺步骤设定对应的组别;其中,不同所述工艺步骤中,相同...
张立超刘建涛钟结实王亚宁
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