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刘国梁
作品数:
2
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供职机构:
北京京东方光电科技有限公司
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合作作者
李志宾
北京京东方光电科技有限公司
孔令勇
北京京东方光电科技有限公司
徐斌
北京京东方光电科技有限公司
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文献类型
2篇
中文专利
主题
1篇
湿法刻蚀
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1篇
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1篇
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卸载
1篇
面具
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接触点
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刻蚀
1篇
基板
1篇
玻璃基
1篇
玻璃基板
1篇
传送
1篇
传送装置
机构
2篇
北京京东方光...
作者
2篇
刘国梁
1篇
徐斌
1篇
孔令勇
1篇
李志宾
年份
2篇
2013
共
2
条 记 录,以下是 1-2
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相关度排序
被引量排序
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一种传送组件、传送装置及应用此传送装置的设备
本实用新型公开了一种传送组件,包括:主体支架、传送滚轮、传送齿带,所述主体支架的上表面设有装载和卸载玻璃基板的所述传送滚轮;所述主体支架的侧面设有所述传送齿带。本实用新型还公开了一种传送装置,该装置包括所述的传送组件,且...
刘国梁
徐斌
孔令勇
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一种基板清洗装置
本实用新型公开了一种涉及半导体清洗设备技术领域,特别是涉及一种涡轮式液刷混合作用的基板清洗装置,包括滚刷主体和驱动所述滚刷主体旋转的驱动装置,所述滚刷主体外表面具有刷毛,所述滚刷主体还具有:液体流动腔室,位于所述滚刷主体...
李志宾
刘国梁
文献传递
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