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刘国梁

作品数:2 被引量:0H指数:0
供职机构:北京京东方光电科技有限公司更多>>

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 1篇湿法刻蚀
  • 1篇刷毛
  • 1篇喷淋
  • 1篇自清洁
  • 1篇组件
  • 1篇卸载
  • 1篇面具
  • 1篇接触点
  • 1篇刻蚀
  • 1篇基板
  • 1篇玻璃基
  • 1篇玻璃基板
  • 1篇传送
  • 1篇传送装置

机构

  • 2篇北京京东方光...

作者

  • 2篇刘国梁
  • 1篇徐斌
  • 1篇孔令勇
  • 1篇李志宾

年份

  • 2篇2013
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
一种传送组件、传送装置及应用此传送装置的设备
本实用新型公开了一种传送组件,包括:主体支架、传送滚轮、传送齿带,所述主体支架的上表面设有装载和卸载玻璃基板的所述传送滚轮;所述主体支架的侧面设有所述传送齿带。本实用新型还公开了一种传送装置,该装置包括所述的传送组件,且...
刘国梁徐斌孔令勇
文献传递
一种基板清洗装置
本实用新型公开了一种涉及半导体清洗设备技术领域,特别是涉及一种涡轮式液刷混合作用的基板清洗装置,包括滚刷主体和驱动所述滚刷主体旋转的驱动装置,所述滚刷主体外表面具有刷毛,所述滚刷主体还具有:液体流动腔室,位于所述滚刷主体...
李志宾刘国梁
文献传递
共1页<1>
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