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高明

作品数:1 被引量:0H指数:0
供职机构:北京东方计量测试研究所更多>>
相关领域:一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇电容
  • 1篇电容薄膜
  • 1篇真空测试
  • 1篇薄膜电容

机构

  • 1篇北京东方计量...

作者

  • 1篇郭志颖
  • 1篇高明
  • 1篇张书锋
  • 1篇杜艳君
  • 1篇王欢

传媒

  • 1篇2009北京...

年份

  • 1篇2009
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
电容薄膜规倾斜角度影响的研究
本文利用真空比对标准装置在压力1~100 Pa范围内对电容薄膜规倾斜角度测量校准室压力时带来的误差进行了研究。结果表明:压力误差随电容薄膜规倾斜角度增加而线性增加,但随校准室压力变化不明显。在校准室压力为1 Pa,电容薄...
张书锋杜艳君邱瑞源郭志颖王欢高明
关键词:真空测试
文献传递
共1页<1>
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