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文献类型

  • 11篇中文专利

主题

  • 3篇引线
  • 3篇通孔
  • 3篇凸台
  • 3篇绝缘
  • 3篇绝缘材料
  • 3篇安全隐患
  • 3篇半导体
  • 2篇折弯
  • 2篇时滞
  • 2篇时滞系统
  • 2篇水槽
  • 2篇自校正调节
  • 2篇微分
  • 2篇微分控制
  • 2篇温控
  • 2篇炉体
  • 2篇密封
  • 2篇冷却水管
  • 2篇分段式
  • 2篇CVD设备

机构

  • 11篇北京七星华创...

作者

  • 11篇王健
  • 5篇孙少东
  • 5篇张乾
  • 3篇钟华
  • 3篇董金卫
  • 2篇王峰
  • 1篇魏庆春

年份

  • 1篇2016
  • 1篇2015
  • 6篇2014
  • 1篇2013
  • 1篇2012
  • 1篇2006
11 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
热处理设备炉丝引线安装固定装置
本发明涉及一种半导体热处理设备炉丝引线安装固定装置,包括引线固定块;所述引线固定块上设有通孔,用于通过炉丝引线;所述通孔周围设有凸台,所述凸台位于所述引线固定块的一侧;所述引线固定块的材质为绝缘材料。本发明能够有效消除热...
孙少东董金卫王健钟华
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一种进风装置
本实用新型涉及热处理设备技术领域,尤其涉及一种进风装置。该进风装置的风盒的一侧与进风阀连接,另一侧与炉体的内壁密封连通,进风阀通过开关与控制机构连接。本实用新型的进风装置通过进风阀连接风机送风管道,将用于冷却炉体温度的风...
王健张乾
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一种水冷装置
本实用新型涉及冷却装置技术领域,尤其涉及一种水冷装置。该水冷装置包括进水装置和出水装置,所述进水装置内设有进水槽,所述出水装置内设有出水槽,还包括多个冷却水管,多个所述冷却水管均为直管状结构,其一端与进水槽连接,另一端与...
王健张乾
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热处理设备炉丝引线安装固定装置
本实用新型涉及一种半导体热处理设备炉丝引线安装固定装置,包括引线固定块;所述引线固定块上设有通孔,用于通过炉丝引线;所述通孔周围设有凸台,所述凸台位于所述引线固定块的一侧;所述引线固定块的材质为绝缘材料。本实用新型能够有...
孙少东董金卫王健钟华
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一种分段式水冷装置
本实用新型涉及水冷装置技术领域,具体涉及了一种分段式水冷装置,包括集成进出水冷槽,所述集成进出水冷槽内设有进水槽和出水槽,还包括多个冷却水管,所述冷却水管分别安装在集成进出水冷槽上,使每个冷却水管上的进水口与进水槽连通,...
王健张乾
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LPCVD设备的温控时滞系统自校正方法与装置
本发明公开了一种LPCVD设备的温控时滞系统自校正方法,包括:对LPCVD设备各个温控区建立包含时滞误差的PID控制模型;建立包含权重系数的比例,积分,微分控制项的自校正调节项模型,并确定已建立的权重系数取值范围;建立监...
王峰王健孙少东
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一种热偶固定装置
本实用新型涉及热处理设备技术领域,尤其涉及一种热偶固定装置。该热偶固定装置包括基座和螺母,所述螺母套装于所述基座外,所述螺母的内侧还套装有定位座和套管,所述定位座与所述套管之间设有一个或多个密封圈。本实用新型的热偶固定装...
王健张乾
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LPCVD设备的温控时滞系统自校正方法与装置
本发明公开了一种LPCVD设备的温控时滞系统自校正方法,包括:对LPCVD设备各个温控区建立包含时滞误差的PID控制模型;建立包含权重系数的比例,积分,微分控制项的自校正调节项模型,并确定已建立的权重系数取值范围;建立监...
王峰王健孙少东
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涂布机的间歇控制装置
本实用新型涉及一种涂布机的间歇控制装置,主要由涂辊901、涂辊支座916、背辊904、背辊支座903及其底部的平行移动机构、推进螺杠907、推进螺母906、伺服电机909、连轴节908等组成,所述推进螺母固定安装在背辊支...
魏庆春景晓勇王健
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一种分段式加热装置
本实用新型公开了一种分段式加热装置,包括加热组件和保温组件,所述保温组件包括炉体内壁、保温层以及分别固定在炉体上、下端的顶部热隔离块和底部热隔离块,所述保温层位于炉体内壁内侧,所述加热组件位于保温层内侧,所述加热组件内侧...
王健张乾
文献传递
共2页<12>
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