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张航

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇中文专利

主题

  • 3篇半导体
  • 3篇半导体设备
  • 2篇电动
  • 2篇电动机
  • 2篇电机
  • 2篇电机驱动
  • 2篇电机驱动器
  • 2篇调节装置
  • 2篇上下位机
  • 2篇通信
  • 2篇通信方法
  • 2篇通信系统
  • 2篇驱动电动机
  • 2篇驱动器
  • 2篇下位机
  • 2篇晶圆
  • 2篇标志位
  • 1篇真空
  • 1篇真空泵
  • 1篇流水线

机构

  • 5篇北京七星华创...

作者

  • 5篇张航
  • 5篇王凯
  • 2篇周峰
  • 1篇张海轮

年份

  • 2篇2016
  • 3篇2014
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
晶圆位置调节装置
本发明涉及一种晶圆位置调节装置，包括：一电动机，用于提供动能；一电机驱动器，用于驱动电动机；一控制单元，用于控制电机驱动器的工作状态，工作状态至少包括电动机开启与电动机关闭；传动机构，用于传动电动机提供的动能至第一运动单...
张航王凯慕晓航
文献传递
半导体设备的上下位机的通信方法和通信系统
本发明公开了半导体设备上下位机的通信系统，其中所述下位机包括用于接收上位机指令的指令接收寄存器；用于接收来自所述指令接收寄存器的指令以驱动半导体设备的执行机构执行相应动作的动作执行寄存器；用于配置工作状态标志位的标志位配...
王凯周峰张航慕晓航
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一种半导体设备的真空控制系统及真空控制方法
本发明公开了一种半导体设备的真空控制系统，包括抽真空单元和真空调节单元。其中所述抽真空单元包括真空泵，第一管路以及第一开关阀；所述真空泵通过所述第一管路连接至反应腔室，所述第一开关阀设于所述第一管路上。所述真空度调节单元...
张航张海轮王凯慕晓航
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晶圆位置调节装置
本发明涉及一种晶圆位置调节装置，包括：一电动机，用于提供动能；一电机驱动器，用于驱动电动机；一控制单元，用于控制电机驱动器的工作状态，工作状态至少包括电动机开启与电动机关闭；传动机构，用于传动电动机提供的动能至第一运动单...
张航王凯慕晓航
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半导体设备的上下位机的通信方法和通信系统
本发明公开了半导体设备上下位机的通信系统，其中所述下位机包括用于接收上位机指令的指令接收寄存器；用于接收来自所述指令接收寄存器的指令以驱动半导体设备的执行机构执行相应动作的动作执行寄存器；用于配置工作状态标志位的标志位配...
王凯周峰张航慕晓航
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