赵丽敏
- 作品数：4 被引量：15H指数：2
- 供职机构：浙江大学光电信息工程学系现代光学仪器国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国航空科学基金国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信理学更多>>
- 精密表面疵病检测美标数字化评价实现算法被引量：4
- 2015年
- 采用美国军用标准MIL-PRF-13830B(简称美标)对光学元件表面疵病进行数字化评价,其难点主要在于美标中表面疵病密集度的判定。针对该难点,提出了一种表面疵病密集度判定算法。该算法采用权重域叠加的方法,通过为表面疵病赋予相应的权重域来确定疵病密集圆域,并将权重域间的叠加转换成了矩阵间位置关系的判断和计算,有效的利用了矩阵运算的便利性。实验中通过对已知表面疵病信息的石英标准板进行判定,其得到的圆域即为疪病密集圆域,与预期结果一致,验证了该算法的正确性。目前该算法已经运用于光学车间精密光学元件表面疵病的美标数字化评价。
- 谢世斌杨甬英刘东李阳李晨赵丽敏
- 关键词：美标密集度
- 表面缺陷评价系统元件边界判定及高低倍图像匹配研究
- <正>光学元件的表面缺陷是影响光学元件质量重要因素。随着现代光学的发展,对于各种光学元件的表面质量要求越来越高。在一些大型光学系统中,需要大量的大口径、超光滑的精密光学元件,光学元件表面存在的各种疵病等会损害系统的光束质...
- 李阳杨甬英刘东谢世斌李晨赵丽敏
- 文献传递
- 光学元件表面缺陷散射光成像数值模拟研究被引量：13
- 2015年
- 对于精密光学元件表面微米亚微米量级的表面缺陷,光在缺陷处会产生强烈的衍射和散射效应,其在像面的分布情况不能简单地使用几何光学进行解释。采用时域有限差分方法(FDTD)建立了光学元件截面为三角形、矩形的表面缺陷的电磁理论模型,模拟仿真得到了缺陷附近区域及像面的散射光分布情况。并使用电子束曝光、反应离子束刻蚀工艺制作了矩形截面的缺陷样本板,对样本缺陷进行了散射成像实验,得到了暗场图像的灰度分布情况,并与理论仿真结果进行了比对。实验中得到的表面缺陷的像面光强分布情况与理论模拟基本吻合,为光学元件的加工制造和缺陷检测的尺度标定提供了理论依据和参考。
- 王世通杨甬英赵丽敏柴惠婷刘东白剑沈亦兵
- 关键词：表面光学散射时域有限差分法
- 精密表面疵病检测美标数字化评价实现算法
- <正>判定光学元件合格与否的主要依据是其检验标准。相比于主观性强、低效的人工判定,客观、高效的数字化判定更适用于精密元件表面疵病的检测需求。因而,采用一套权威、通用的标准对光学元件表面疵病进行数字化的判定将有利于各企业乃...
- 谢世斌杨甬英刘东李阳李晨赵丽敏
- 文献传递
