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张仕国

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：浙江大学材料科学与工程学系硅材料国家重点实验室更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电子器件
  • 1篇电子元
  • 1篇电子元件
  • 1篇液相外延
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子工艺

机构

  • 1篇浙江大学

作者

  • 1篇江鉴
  • 1篇张仕国

传媒

  • 1篇上海航天

年份

  • 1篇1997
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
电子元器件性能与液相外延工艺
1997年
分析了液相外延（ＬＰＥ）在微电子工艺中的状况及其原理，概述了ＬＰＥ在器件制造中的应用，指出了ＬＰＥ的电子元器件的优良特性。
江鉴张仕国
关键词：电子元件液相外延微电子工艺电子器件
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共1页<1>
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