您的位置： 专家智库 > >

向毅

作品数：2 被引量：3H指数：1
供职机构：航天长征火箭技术有限公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇机械工程

主题

  • 2篇湿法腐蚀
  • 2篇微细
  • 2篇微细加工
  • 1篇振梁加速度计
  • 1篇加速度计

机构

  • 2篇航天长征火箭...

作者

  • 2篇周建发
  • 2篇陈圣广
  • 2篇杨贵玉
  • 2篇陈巍
  • 2篇向毅
  • 2篇闫海

传媒

  • 1篇仪表技术与传...
  • 1篇第11届全国...

年份

  • 2篇2009
共 2 条 记 录，以下是 1-2
全选 清除 导出
排序方式：
石英振梁加速度计微细加工工艺研究被引量：3
2009年
介绍了石英振梁加速度计微细加工工艺。对其中的重点、难点进行研究分析。对石英晶片上Cr-Au掩蔽薄膜的沉积工艺,从理论上分析了影响薄膜抗蚀性因素,提出了解决办法。在湿法腐蚀过程中,强调了精确控制腐蚀深度和截面形貌的重要性。并对其带来的影响进行了分析。
陈巍闫海杨贵玉陈圣广周建发向毅
关键词：振梁加速度计湿法腐蚀
石英振梁加速度计微细加工工艺研究
介绍了石英振梁加速度计微细加工工艺.对其中的重点、难点进行研究分析。对石英晶片上Cr-Au掩蔽薄膜的沉积工艺,从理论上分析了影响薄膜抗蚀性因素,提出了解决办法。在湿法腐蚀过程中,强调了精确控制腐蚀深度和截面形貌的重要性....
陈巍闫海杨贵玉陈圣广周建发向毅
关键词：微细加工湿法腐蚀
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0