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霍晓阳

作品数：8 被引量：0H指数：0
供职机构：河北普兴电子科技股份有限公司更多>>
相关领域：文化科学自动化与计算机技术经济管理石油与天然气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇中文专利

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 2篇文化科学
  • 1篇天文地球
  • 1篇石油与天然气...

主题

  • 3篇外延片
  • 3篇限位
  • 2篇预设
  • 2篇气瓶
  • 2篇追溯
  • 2篇外延炉
  • 2篇监测方法
  • 2篇阀门
  • 2篇HCL
  • 2篇测温
  • 2篇测温装置
  • 1篇挡板
  • 1篇电阻率
  • 1篇心轴
  • 1篇压面
  • 1篇圆弧
  • 1篇石英
  • 1篇停机
  • 1篇通路
  • 1篇通信连接

机构

  • 7篇河北普兴电子...

作者

  • 7篇霍晓阳
  • 5篇袁肇耿
  • 5篇薛宏伟
  • 3篇陈秉克
  • 2篇孟祥鹏

年份

  • 2篇2022
  • 3篇2021
  • 2篇2020
共 8 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
多片外延炉装偏监测方法
本发明提供了一种多片外延炉装偏监测方法，属于外延片生产领域，包括步骤：在预设周期下通过测温装置获取基座表面和外延片的瞬时温度值；判断外延片的瞬时温度值是否位于正常温度范围内；当瞬时温度值低于正常温度范围时，判断正常温度范...
魏桂忠薛宏伟陈秉克袁肇耿仇根忠任永升任丽翠高勇霍晓阳
文献传递
一种CVD机台石英盘固定装置
本实用新型提供了一种CVD机台石英盘固定装置，属于CVD机台设备技术领域，该CVD机台石英盘固定装置用于固定位于钟罩中心位置的石英盘，包括前挡板和后挡板，前挡板固定于石英热壁上，且位于所述石英盘一侧，前挡板一侧设有与石英...
魏桂忠霍晓阳侯志义
文献传递
顶压式HCL气瓶防松装置和HCL防松气瓶
本实用新型提供了一种顶压式HCL气瓶防松装置和HCL防松气瓶，所述顶压式HCL气瓶防松装置包括限位板、安装架和限位件；限位板中间设有适于与气瓶出气口的连接螺母卡接的卡孔，周圈设置的若干抵压面；安装架适于与气瓶上的阀门连接...
霍晓阳史喜生薛宏伟袁肇耿仇根忠孟祥鹏
多片外延炉装偏监测方法
本发明提供了一种多片外延炉装偏监测方法，属于外延片生产领域，包括步骤：在预设周期下通过测温装置获取基座表面和外延片的瞬时温度值；判断外延片的瞬时温度值是否位于正常温度范围内；当瞬时温度值低于正常温度范围时，判断正常温度范...
魏桂忠薛宏伟陈秉克袁肇耿仇根忠任永升任丽翠高勇霍晓阳
文献传递
HCL气瓶防松装置和HCL气瓶
本实用新型提供了一种HCL气瓶防松装置和HCL气瓶，所述HCL气瓶防松装置包括限位板、安装架和限位件；限位板中间设有适于与气瓶出气口的连接螺母卡接的卡孔，周圈设置的若干凸起；安装架适于与气瓶连接；限位件与安装架转动连接，...
史喜生霍晓阳薛宏伟袁肇耿仇根忠孟祥鹏
改善外延片滑片的装置及方法
本发明提供了改善外延片滑片的装置及方法，属于外延片制造技术领域，改善外延片滑片的装置包括基座，基座上端面设有载片槽；基座的上方设置有机械手盘，机械手盘上设置有用于负压吸附外延片的吸气通路，机械手盘上还设置有用于向机械手盘...
魏桂忠陈秉克薛宏伟袁肇耿仇根忠任丽翠任永升霍晓阳
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化学气相沉积设备及其手盘斜度自动调节结构
本实用新型提供了一种化学气相沉积设备及其手盘斜度自动调节结构，属于半导体技术领域，手盘斜度自动调节结构包括机械手和调节组件，其中，机械手包括：移动本体；手杆，一端转动连接于移动本体；手盘，连接于手杆的另一端；以及偏心轴系...
魏桂忠侯志义霍晓阳
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