刘海永
- 作品数：4 被引量：1H指数：1
- 供职机构：大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性教育部重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：化学工程理学一般工业技术金属学及工艺更多>>
- 脉冲偏压电弧离子镀CR-O薄膜制备及其性能研究
- 氧化铬因其具有高硬度、高温稳定性、高化学稳定性及抗腐蚀等性能，被广泛应用于冶金、颜料、磨料、耐火材料及新发展的熔喷涂料等方面。近年来对氧化铬薄膜的研究主要集中在成分结构、机械性能、摩擦磨损性能与作为太阳能选择吸收薄膜的可...
- 刘海永
- 关键词：脉冲偏压电弧离子镀石英玻璃硅片光学性能
- 文献传递
- 脉冲偏压电弧离子镀制备Cr-O薄膜的相结构及光学性能研究
- 用脉冲偏压电弧离子镀技术在石英玻璃及单晶硅(111)基片上制备了均匀透明Cr-O薄膜.本文研究偏压幅值(0~500V)对薄膜表面形貌、相结构、硬度和光学性能等影响.利用扫描电镜(SEM)观察膜层表面形貌,X射线衍射仪(X...
- 刘海永林国强张敏韩克昌
- 关键词：脉冲偏压电弧离子镀相结构
- 文献传递
- 脉冲偏压电弧离子镀Cr-O薄膜结构及光学性能研究被引量：1
- 2015年
- 采用脉冲偏压电弧离子镀技术在单晶硅基片及石英玻璃上制备了一系列均匀透明的Cr-O薄膜.用场发射扫描电子显微镜、X射线衍射仪、X射线光电子谱、纳米压痕仪、紫外可见光分光光度计等方法对薄膜的表面形貌、膜厚、相结构、成分、元素的化学价态、硬度和光学性能等进行表征,主要研究了偏压幅值对薄膜结构和性能的影响.结果表明,施加偏压可使薄膜的沉积质量明显提高,其相结构由非晶态转变为晶体态,并随着偏压幅值的增加,由Cr2O3相向CrO相转变;薄膜的硬度先增大后减小,当偏压为-300 V时,硬度达到最大值24.4 GPa;薄膜具有良好的透光率,最高可达72%;当偏压为-200 V时,薄膜的最大光学帯隙为1.88 eV.
- 刘海永张敏林国强韩克昌张林
- 关键词：电弧离子镀相结构光学性能
- 脉冲偏压电弧离子镀制备Cr-O薄膜的相结构及光学性能研究
- 用脉冲偏压电弧离子镀技术在石英玻璃及单晶硅(111)基片上制备了均匀透明Cr-O薄膜.本文研究偏压幅值(000V)对薄膜表面形貌、相结构、硬度和光学性能等影响.利用扫描电镜(SEM)观察膜层表面形貌,X射线衍射仪(XRD...
- 刘海永林国强张敏韩克昌
- 关键词：脉冲偏压电弧离子镀相结构
